最適な真空ポンプの検索

産業用途のテクノロジーで真空と呼ばれているものは、物理では「負圧」と呼ぶのが正解です。これには、海抜ゼロ地点の平均大気圧である1,013 hPa（mbar）を下回るすべての圧力が含まれます。高度が上がると、大気圧は徐々に低下してきます。大気圧には天候も影響を及ぼします。とは言え、この程度の圧力の違いは、技術的観点から見ると大差ありません。真空テクノロジーでは一般的に、大気圧または気圧を簡略化して1,000 hPa（mbar）あるいは1 barとします。したがって、0～1,000 hPa（mbar）の間は「真空」または負圧となります。真空テクノロジーで利用されるさまざまな真空レベルは、一般的に下表の4つの領域に分類されています。

テクノロジーの違いに基づき、当社では真空ポンプを8つのタイプに分類しています。

オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ
ロータリーベーンテクノロジーでは、真空ポンプを技術的にシンプルに構築することが可能となります。連続運転における一定の高真空レベルは、循環オイル潤滑、完璧に調整された材料および最先端の精密な製造技術によって保証されます。標準装備のオイルセパレーターは、オイルリターン機能付きの高性能なオイル分離システムのため、排気はクリーンでオイルフリーです。オプションでガスバラストバルブを取付ければ、蒸気の取り扱いも可能になります。インレットフランジには逆止弁を備え、真空ポンプを停止した際にガスが逆流するのを防ぎます。

ドライクロー真空ポンプ
クロー真空ポンプでは、ハウジングの中で爪の形をした2つのローターが反対方向に回転します。クローローターの形状により、空気やガスは吸引、圧縮され、再び排出されます。クローローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。クローローター先端とハウジングの間のクリアランスを精密に調整することで、内部の気密性を最適化し、一貫して高い排気速度をキープします。同期ギアボックスにより、クローローターの正確な同期が保証されます。

ドライスクリュー真空ポンプ
ドライスクリュー真空ポンプは、逆方向に回転する2つのスクリューローターによって動作します。吸引されたガスは、スクリュー間の溝部分で捕捉され、圧縮されてガス排気口に移動します。圧縮プロセス中は、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。つまり、圧縮チャンバーには潤滑剤や作動流体が必要ありません。

メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプのハウジング内では、2本のローブローターが同期回転しています。回転するローターの特殊形状と精巧な作りにより、ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。これにより作動液を必要とせずに媒体を圧送することが可能となります。2本のローブローターは、圧縮チャンバーから隔てられた、ギアボックスのシャフトの端に配置されている一対のギアによって回転します。

ドライ式ロータリーベーン真空ポンプ
これらの真空ポンプは、定評のあるロータリーベーンテクノロジーに従って動作します。自己潤滑式のローターベーンのため、作動液が不要です。圧縮プロセスは完全にドライです。連続運転でも一貫して高いレベルの真空を保てる理由は、材料適合性や特殊なグラファイト製ベーン、効率的な排熱、そして最先端かつ精工な製造技術です。

水封式真空ポンプ
水封式真空ポンプには、インペラーが偏心的に取り付けられています。作動流体（通常は水）が回転とそれに伴う遠心力によりハウジング内にいわゆるリキッドリングを形成します。プロセスガスは吸気口から入り、インペラーブレード間で捕捉され、圧縮されながら排気口へ運ばれると、一定量の作動流体とともに排出されます。水封式真空ポンプの封液システムには、シンプルなワンパス（循環なし）、部分循環、完全循環といったシステムがあります。

スクロール真空ポンプ
スクロール真空ポンプは、固定スクロールと旋回スクロールが対になった構成です。旋回スクロールの動きに応じ真空ポンプの吸気部に空間が生じ、ガスが吸引されます。ローターの動きによりガスが継続的に圧縮され、最終的に排出されます。

拡散真空ポンプ
拡散真空ポンプは、オイルボイラーと、そこからつながる多段構造のノズル部で構成されています。加熱されたオイル蒸気はノズル部から超音速で噴射されます。その蒸気がプロセスガス中の分子を捕捉し運動量を与えることで、ガスがポンプ筐体内で移送されます。このプロセスでガス分子は低圧の吸気フランジからバックポンプへつながる排気ポートへ送られます。ここでオイル蒸気は凝縮し拡散ポンプのボイラーに戻り、プロセスガス分子はバックポンプに吸引されます。

最も新しい真空ポンプは、容積式真空ポンプです。空気分子またはその他のガスを真空チャンバーから除去することで真空を作ります。
排気プロセスでは、さまざまな動作原理の真空ポンプが使用されます。技術的観点から見ると、それぞれの違いは大きく、それぞれに特徴的なメリットがあります。したがって、どのような用途に関しても、どのタイプの真空生成が最適であるかを評価する必要があります。
食品包装など、低真空用途向けの一般産業用真空ポンプをお探しの場合でも、 あるいは、中～高真空領域で動作する半導体業界向けの真空ポンプをお探しの場合でも、 当社の製品検索をご利用いただくと、それぞれの真空レベルおよびあらゆる技術要件に対応する真空生成器を含む充実した製品ラインナップの中から製品を見つけ出すことができます。

真空ポンプおよび真空システムは、各種産業分野においてさまざまなアプリケーションで利用されています。それぞれのアプリケーションには、特定の真空レベルが必要となります。
たとえば、食品業界、冶金、乾燥、蒸留プロセスなどでは、一般的に低真空で十分です。一方で粒子加速器では、超高真空が必要となります。

一般的な真空アプリケーション：

Busch Vacuum Solutionsでは、多様な真空、加圧テクノロジーを駆使した豊富な製品群をご用意しております。大気圧から超高真空までの動作圧力範囲を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションを提供します。

たとえば、高い評価をいただいているR5ロータリーベーン真空ポンプは、食品包装向けの業界標準となっています。

Buschの真空ポンプ、ブロワー、コンプレッサー：真空包装におけるマーケットリーダー、

R5オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ。

過酷な用途向けのHUCKEPACKワンス スルー オイル式ロータリーベーン真空ポンプ。
安定した真空または加圧とドライ方式が必須となる一般産業用途に最適なMINKドライクロー真空ポンプ。
高信頼と、ガスやベーパーの排気にコンタミレスが求められる一般産業用途に最適なCOBRA Industryドライスクリュー真空ポンプ。
半導体、ソーラーモジュール、フラットパネルの製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が厳しいプロセス向けのCOBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプ。
ロードロックチャンバーの排気向けのTORRI多段ルーツ真空ポンプ。
迅速でクリーンな真空または圧縮空気が求められる一般産業用途向けのSECOドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー。
連続運転に適した設計のDOLPHIN水封式真空ポンプおよびコンプレッサー。
脈動のない排気の求められるすべての用途向けのSAMOSサイドチャネルブロワー。
産業および分析プロセス向けのZEBRA2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ。
気体輸送に高気密性が求められる場合に最適なFOSSAスクロール真空ポンプ。
高い排気速度またはガススループットが求められる高真空用途向けのRANGU拡散真空ポンプ。
廃水処理、空気輸送、または養殖用途向けに安定した差圧を提供するTYRルーツブロワー。
真空ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるPANDAおよびPUMAメカニカルブースターポンプ。