拡散真空ポンプ

動作原理

拡散真空ポンプは円筒形で、底部を加熱することが可能な構造です。液状のオイルを使用し、それを加熱すると、 オイルから生じたベーパーがノズルシステムに入ります。その後、ベーパーは多段構造のノズル (ジェット) から高圧で排出されます。

プロセスガス中の分子がこのべーパーに捕捉されて下方へ運ばれ、バックポンプへ向かいます。ポンプ本体は外側から水冷方式で冷却されているため、 べーパー状のオイルは本体の内壁で凝縮し、底部へ戻ります。