ドライスクリュー真空ポンプの種類
Buschは、2つのタイプのドライスクリュー真空ポンプを提供しています:COBRA Industryドライスクリュー真空ポンプは、高い信頼性とクリーンな排気が求められる一般産業用途に最適です。
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。
製品シリーズ | 設計排気速度 | タイプ |
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COBRA NX | 350 m³/h - 950 m³/h | 一般産業用 |
COBRA NX PLUS | 900 m³/h | 一般産業用 |
COBRA NC | 110 m³/h - 2,500 m³/h | 一般産業用 |
COBRA NS | 70 m³/h - 600 m³/h | 一般産業用 |
COBRA NF | 750 m³/h - 950 m³/h | 一般産業用 |
COBRA DX | 650 m³/h - 950 m³/h | 一般産業用 |
COBRA BA | 85 m³/h - 105 m³/h | 半導体 |
COBRA BC | 100 m³/h - 1,580 m³/h | 半導体 |
COBRA DS | 70 m³/h - 1,640 m³/h | 半導体 |