RANGU
拡散真空ポンプ
RANGUは拡散真空ポンプシリーズです。産業用の高真空用途に特化して設計されています。ガラスコーティング装置、真空炉、金属コーティング、物理蒸着 (PVD)、表面処理または薄膜コーティングなどがこれに含まれます。
RANGU拡散真空ポンプは、蒸気噴流で排気させる原理で動作し、 過酷な運転条件での優れた信頼性を特徴としています。
動作原理
RANGU拡散真空ポンプは円筒形で、底部を加熱することが可能な構造です。液状のオイルを加熱すると、 オイルから生じたべーパーがノズルシステムに入ります。その後、ベーパーは多段構造のノズル (ジェット) から高圧で排出されます。プロセスガス中の分子がこの蒸気に捕捉されて下方へ運ばれ、バックポンプへ向かいます。ポンプ本体は外側から水冷方式で冷却されているため、オイルの蒸気は本体の内壁で凝縮し、底部へ戻ります。
RANGU DF
堅牢で信頼性に優れた高真空ポンプ
- 最高レベルの排気速度、ガス流量
- 高信頼性
- 長い耐用年数
- ほぼメンテナンスフリー
RANGU DFシリーズのメリット
RANGU DF拡散真空ポンプは、高真空用途向けの完璧なソリューションであり、 高い排気速度とガス流量が求められるプロセスに理想的です。
これらの真空ポンプは、一貫した高性能と信頼性の高い運転を特徴とし、 他の真空ポンプが故障してしまうような過酷な運転条件であってもお使いいただけます。その機能は効率性に優れ、ほぼメンテナンスフリーです。
RANGU拡散真空ポンプの動作圧力条件は、吸気圧10-3 hPa（mbar）以下です。R 5ロータリーベーン真空ポンプあるいはCOBRAスクリュー真空ポンプに、メカニカルブースターポンプを組み合わせた構成でご利用いただくことをお勧めします。
