ヘリウムおよび水素リークディテクター

リークは真空システムに不作為に存在する穴から発生します。その穴から空気やその他のガスが真空システム内部に出入りします。真空システムから漏れる空気またはガスの量は、リークレートとして表されます。リークレートは、穴の大きさと数、ガスの種類、システム内外の圧力差など、いくつかの条件に依存します。

真空リークは2種類あります。

真空リークはさまざまな原因で発生します。これには、シール不良や古いシールに穴が生じたり、コンポーネントが損傷したり、真空装置の不適切な設置などが含まれます。

リークの穴に平均的な大きさはなく、原因に応じて小さな穴から大きな亀裂まであります。真空リークの穴の大きさは、リークレートを測定することで判断できます。リークレートは、1秒間システムから流出プロセスするガスまたは空気の量です。ほとんどのリークは、肉眼では見えないほど小さいものです。TAPIRのようなヘリウムリークディテクタは、わずかなリークを正確に検出、定量化することが可能です。

TAPIRは複数の方法でリークを検出します。真空下での真空容器のテストには、いわゆるスプレー法のリークテストが適しています。そして、圧力容器には、スニッファー法が適しています。ヘリウムあるいは水素を検出ガスとして使用し、検知します

。テストの実施が簡単で、結果が正確なため、TAPIRを活用することで手軽にお客様の真空プロセスの信頼性を高めることができます。

スプレー法
（真空容器）

真空容器には、いわゆるスプレー法が適しています。これは、各種検出法の中で最も感度が高い方法です。リークが疑われる被検査物から空気を抜き、フランジを介してTAPIRを接続します。テストの対象は、真空炉からパイプライン、容器、その他の機器まで多岐にわたります。ヘリウムまたは水素をスプレーガン（図1参照）を使い被検査物の外面に噴射します。リークがある場合、TAPIR内蔵のターボ分子ポンプとバックポンプにより検出ガスの分子が被検査物内部に引き込まれます。分子は、検出ガス原子を検出する分析器セルに入ります。

スニッファー法
（圧力容器）

圧力容器には、スニッファー法が適しています。ヘリウムまたは水素を被検査物である装置、パイプライン、容器などに送リ込み、内部圧力を上昇させます。スニファープローブは、リーク検出と位置特定用に設計されたツールで、アクセサリとして購入しTAPIRに接続することが可能です。検査員はスニファープローブを被検査物の表面に沿ってゆっくりと動かします（図2を参照）。金属探知機のような要領で、ヘリウムや水素の痕跡を探ります。リークがある場合、検出ガス原子が検出されます。そして、リーク位置を正確に特定することができます。

フード法

フード法のリークテストでは、スプレー、スニッファー式のどちらも使用できます。被検査物をプラスチックフィルムや容器（図3と図4に灰色で示す）内に入れます。
スニッファー式を使ったフード法リークテストでは、まず被検査物をヘリウム（1）で満たします。リークが発生した場合、ヘリウムが漏れ、容器内に溜まります。スニッファープローブで、経時的なヘリウム濃度の上昇を判定し、リークレートを測定します(2)。このテストは大気圧で実施します。

一方、スプレー方式を使ったフード法リークテストは、真空下で行われます。被検査物をリークディテクターに接続し、容器（3）内に置きます。厳密なテスト条件と正確な結果を確保するために、容器を真空引きしてから、所定の量のヘリウムを充填します。リークがある場合、ヘリウムは圧力差により被検査物に侵入します。リークディテクターで、被検査物内のヘリウム量を計り、リーク率を測定します。

はい、もちろんです。リーク検出サービスのご予約は、当社までご連絡ください。是非お手伝いさせてください！

スプレー法とスニッファー法は、ヘリウムまたは水素を検出ガスとして使用する、最も一般的なリーク検出方法の2つです。

真空容器には、スプレー法が最適なテスト方法です。これは、各種検出法の中で最も感度が高い方法です。ヘリウムまたは水素を被検査物の表面に噴射します。リークがある場合、TAPIR内蔵のターボ分子ポンプとバックポンプにより検出ガスの分子が被検査物内部に引き込まれます。引き込まれた検出ガス分子は、その後分析部に運ばれます。ここで検出ガス原子を検知します。

圧力容器には、スニッファー法によるリークテストが最適な方法です。被検査物にヘリウムまたは水素を送り込み内部圧力を上昇させます。TAPIRに接続されたスニッファープローブを、被検査物の表面に沿ってゆっくりと動かし、検査します。リークが発生している場合、検出ガス原子が検知され、リーク箇所を正確に特定できます。

定性的リーク検出はまず、試験対象のシステム全体でリークがあるかどうかだけを判断します。Busch TAPIR HL 2216 Aでは吸気口圧力が100hPa（mbar）からこの判断が可能となります。吸気口圧が低下し、一般的には25hPa（mbar）になると、リークディテクターはリークを検出するだけでなく、その量を特定できるようになります。つまり、リークレートに基づいてリークの規模が正確に判定されるということになります。

真空減衰テストとも呼ばれる圧力減衰リークテストでは、まず目標圧力に達するまで圧力容器に空気を充填します。そして、その圧力の損失（減衰）を一定時間測定します。一方、真空リークテストにはいくつかの種類があります。たとえば、当社のリークディテクターTAPIRなどの検査用専門機器は、ヘリウムまたは水素を検出ガスとして使い、2種類のテストができます。真空リークテストは、圧力減衰テストに比べて結果が早く、温度変化などの外的要因の影響も受けにくい方法です。そのため、結果の精度にも優れます。

真空容器には、スプレー法が最適なテスト方法です。これは、各種検出法の中で最も感度が高い方法です。ヘリウムまたは水素を被検査物の表面に噴射します。リークがある場合、TAPIR内蔵のターボ分子ポンプとバックポンプにより検出ガスの分子が被検査物内部に引き込まれます。引き込まれた検出ガス分子は、その後分析部に運ばれます。ここで検出ガス原子を検知します。

圧力容器には、スニッファー法によるリークテストが最適な方法です。被検査物にヘリウムまたは水素を送り込み内部圧力を上昇させます。TAPIRに接続されたスニッファープローブを、被検査物の表面に沿ってゆっくりと動かし、検査します。リークが発生している場合、検出ガス原子が検知され、リーク箇所を正確に特定できます。

いずれの方法も実施は簡単で、正確な結果が得られます。