ガス除害装置

GABA AWEは、半導体業界において重要なEPIプロセス向けに特化して開発されたBuschの革新的な湿式スクラバーです。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保しました。

当社のAWEシリーズには、スクラバーの吸気口の目詰まりを防ぐ特許取得済みの有害ガス吸気口を備えています。これにより耐用年数が延長されると同時に、運用コストも低減します。メンテナンスも軽減され、推奨されるサービス間隔で吸気口の目詰まり防止装置を交換するだけです。この作業は、ユニットを分解せず、簡単に行うことができます。

GABA AWEの特殊な設計により、生産プロセスで発生する副生成物をトラップで分離することが不要になりました。湿式スクラバーでプロセス残留物に対処するため、吸気口が詰まることはありません。水溶性の副生成物はスクラブ溶液中で反応し、固形物は粒子として分離されるか、運転中に廃水とともに汲み出されます。

生産プロセスで利用される真空は、速度制御付きベンチュリーユニット経由で供給、アクティブ制御されます。これにより、プロセスで要求される所定の圧力を維持し、トラブルのない運用が可能となります。すべてのプロセス設定は、カラーディスプレイとタッチスクリーンを搭載したプログラマブルロジックコントローラー（PLC）を介して行うことができます。

GABA ATWガス除害装置は、加熱－湿式によるガス除害テクノロジーを採用しています。この仕組みでプロセスガスの化学特性を変化させます。可燃性ガスや自然発火性ガスの場合は無炎熱酸化が用いられ、水溶性ガスの場合は水に溶かしてこれを実行します。

ATWは、天然ガスを使用せず電気で燃焼式除害装置と同レベルの温度にまで上昇させることができます。これにより、生産プロセスから排出されるガスのリスクを排除します。

当社のGABA ATWは、工場の一般的な排気システムに接続するよう設計されています。これらのガス除害装置には、4つの吸気口が備わっています。そのため、用途に応じてプロセスツールの4種類のチャンバー、あるいは複数のツールに接続することができます。

ガス除害装置は、生産プロセスで発生する有害ガスや大気汚染物質を無害化します。このプロセスは、そういったガスや物質を安全に大気中に放出するために必要です。ガスの種類が異なれば、加熱式、湿式、またはその両方を組み合わせた処理など、必要な処理技術も異なります。

ガス除害とは、有害ガスや大気汚染物質の化学組成を変化させるプロセスです。動物や人間に害を与えることなく、大気中に放出するために必要な処置です。

触媒方式
触媒方式のこのシステムは、触媒を使った熱酸化分解と、湿式の処理を組み合わせたもので、可燃性ガス、水溶性ガス、NF₃を無害化することができます。熱酸化の際に発生する粉体や水溶性ガスは、多段式のウェットゾーンで捕捉されます。

加熱－湿式
電気ヒーター使った加熱式と湿式の技術を組み合わせたシステムで、NH₃、SiH₄、NF₃などの水素化物系ガスを無害化します。熱分解チャンバー内で、熱酸化により可燃性ガスや発火性ガスの化学的性質が変化します。この後、水溶性ガスが湿潤チャンバー内で溶解されます。

湿式スクラバー
エピタキシーを代表とするプロセスから出る排ガスに、4つに分かれた処理ステージで水を噴射します。プロセスガスに含まれる固形の副生成物は、噴射された水滴に取り込まれ溶解します。最後にセパレーターで水を分離し排気します。