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ガス除害装置

当社のソリューション:GABA

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半導体産業では、有毒で可燃性があり、環境だけでなく人間にとっても有害なガスを、 マイクロチップの製造などの工程で使用しています。国の規制に従って、これらのガスを無害化する必要があります。無害化とは、それぞれの許容濃度(TLV)を下回るようにするということです。

ガスの種類が異なれば、加熱式、湿式あるいはその両方の組み合わせなど必要とされる処理テクノロジーも異なります。プロセスから排出されるガスは、この処理を経ることで、大気への放出が可能になります。環境を損なうことなく、 グリーンな世界を目指して。

動作原理

触媒方式
触媒方式のこのシステムは、触媒を使った熱酸化分解と、湿式の処理を組み合わせたもので、可燃性ガス、水溶性ガス、NF₃を無害化することができます。熱酸化の際に発生する粉体や水溶性ガスは、多段式のウェットゾーンで捕捉されます。

加熱-湿式
電気ヒーター使った加熱式と湿式の技術を組み合わせたシステムで、NH₃、SiH₄、NF₃などの水素化物系ガスを無害化します。熱分解チャンバー内で、熱酸化により可燃性ガスや発火性ガスの化学的性質が変化します。この後、水溶性ガスが湿潤チャンバー内で溶解されます。

湿式スクラバー
エピタキシーを代表とするプロセスから出る排ガスに、4つに分かれた処理ステージで水を噴射します。プロセスガスに含まれる固形の副生成物は、噴射された水滴に取り込まれ溶解します。最後にセパレーターで水を分離し排気します。

GABA AWE

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EPIプロセスに適した湿式スクラバー方式のガス除害

  • 革新的な湿式スクラバーテクノロジー
  • 半導体業界において重要なEPIプロセス向け
  • 特許取得済みの吸気口目詰まり防止装置
  • 保守頻度の低減
  • 副生成物回収のためのトラップ不要
  • 速度制御機能付きベンチュリーユニット
  • 吸気口を4つ備え、4つのチャンバーに接続可能

GABA AWEシリーズのメリット

GABA AWEは、半導体業界において重要なEPIプロセス向けに特化して開発されたBuschの革新的な湿式スクラバーです。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保しました。

当社のAWEシリーズには、スクラバーの吸気口の目詰まりを防ぐ特許取得済みの有害ガス吸気口を備えています。これにより耐用年数が延長されると同時に、運用コストも低減します。メンテナンスも軽減され、推奨されるサービス間隔で吸気口の目詰まり防止装置を交換するだけです。この作業は、ユニットを分解せず、簡単に行うことができます。

GABA AWEの特殊な設計により、生産プロセスで発生する副生成物をトラップで分離することが不要になりました。湿式スクラバーでプロセス残留物に対処するため、吸気口が詰まることはありません。水溶性の副生成物はスクラブ溶液中で反応し、固形物は粒子として分離されるか、運転中に廃水とともに汲み出されます。

生産プロセスで利用される真空は、速度制御付きベンチュリーユニット経由で供給、アクティブ制御されます。これにより、プロセスで要求される所定の圧力を維持し、トラブルのない運用が可能となります。すべてのプロセス設定は、カラーディスプレイとタッチスクリーンを搭載したプログラマブルロジックコントローラー(PLC)を介して行うことができます。

GABA AWEのすべての製品

  • GABA AWE 050 AE
    GABA AWE 050 AE

    到達真空度:

    設計排気速度:

    詳細情報

GABA AFC

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効率的な触媒方式によるガス除害

  • 触媒と加熱-湿式除害テクノロジーの組み合わせ
  • 可燃性および可溶性のガスの処理
  • 優れた除害効率
  • 高温電気ヒーター
  • 完全置換方式
  • 吸気口を4つ備え、4つのチャンバーに接続可能

GABA AFCシリーズのメリット

GABA AFCガス除害装置は、生産プロセスで発生する有害ガスや大気汚染物質を削減または除去するために設計されています。この装置では基本的に、ガスの化学組成を変化させます。触媒を使った炎を出さない熱酸化分解と加熱-湿式除害テクノロジーの組み合わせを利用することで、可燃性ガスと水溶性ガスの両方の処理が可能となります。

GABA AFCは、加熱用ヒーターと触媒を利用します。これにより、無炎方式の完全燃焼が可能となります。対象となるガスの除去効率を高めるためには、適切な温度と正しい作動流体を選ぶことが極めて重要となります。この加熱システムは安定した処理環境を保つとともに、副生成物(NOx、CO2など)の発生を大幅に抑えます。リアクターチャンバーから出た水溶性ガス、副生成物および高温のガスは、その後湿式チャンバーで処理されます。

メンテナンス中の汚染を防ぐために、GABA AFCは完全置換方式として設計されています。チャンバーを開放することなく、すべてのモジュールを個別に交換することができます。

AFCシリーズのガス除害装置には、4つの吸気口が標準装備されています。そのため、用途に応じてプロセスツールの4種類のチャンバー、あるいは複数のツールに接続することができます。

GABA AFCのすべての製品

  • GABA AFC 050 A
    GABA AFC 050 A

    到達真空度:

    設計排気速度:

    詳細情報

GABA ATW

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安全な加熱-湿式によるガス除害

  • 触媒と加熱-湿式除害テクノロジーの組み合わせ
  • 可燃性および可溶性のガスの処理
  • 高温電気ヒーター
  • 吸気口を4つ備え、4つのチャンバーに接続可能

GABA ATWシリーズのメリット

GABA ATWガス除害装置は、加熱-湿式によるガス除害テクノロジーを採用しています。この仕組みでプロセスガスの化学特性を変化させます。可燃性ガスや自然発火性ガスの場合は無炎熱酸化が用いられ、水溶性ガスの場合は水に溶かしてこれを実行します。

ATWは、天然ガスを使用せず電気で燃焼式除害装置と同レベルの温度にまで上昇させることができます。これにより、生産プロセスから排出されるガスのリスクを排除します。

当社のGABA ATWは、工場の一般的な排気システムに接続するよう設計されています。これらのガス除害装置には、4つの吸気口が備わっています。そのため、用途に応じてプロセスツールの4種類のチャンバー、あるいは複数のツールに接続することができます。

GABA ATWのすべての製品