動作原理
メカニカルブースターポンプの仕組み
真空ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるメカニカルブースターポンプは、 最大10倍まで真空システムの性能を高めることができます。
メカニカルブースターポンプは、定評のあるルーツ原理に従って動作します。メカニカルブースターポンプのハウジング内では、2本のローターが同期回転しています。ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。したがって、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。
ローターの回転で、ローターとハウジングの間に捕捉されたガスがバックポンプに運ばれます。
2本のローターは、圧縮チャンバーと切り離されたギアボックス内の、シャフトエンドにあ一組の歯車で回転します。これにより、ローターの正確な同期運転が維持されます。
メカニカルブースターポンプはバイパスバルブの内蔵されたモデルと無いモデルがあります。バイパスバルブが無い場合は、運転中、吸排気口の最大許容差圧を超えないよう注意する必要があります。バイパスバルブ内蔵の場合、吸引したガスの一定量が逃がされます。したがって、インレットとアウトレット間の差圧が自動的に制限され、ブースターが過負荷から保護されます。
