スクロール真空ポンプ

動作原理

スクロール真空ポンプの仕組みをご紹介します。

スクロール真空ポンプは、一対の固定および旋回スクロールによって構成されています。旋回スクロールは、固定スクロール内で動きます。

その動きに応じ真空ポンプの吸気部に空間が生じ、

そこから吸引されたガスがスクロール間を外周方向から継続的に移送されます。最終的には2つのスクロールの中心にある排気口から排出されます。