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PANDA/PUMA

メカニカルブースターポンプ

panda_puma

真空ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるPANDA/PUMAメカニカルブースターポンプは、 最大10倍まで真空システムの性能を高めることができます。

バックポンプとPANDA/PUMAの組み合わせは、所定の圧力における高い排気速度を必要とする用途に最適です。

Buschメカニカルブースターポンプは、サイズのバリエーションが豊富なため、 排気速度および到達真空度をプロセスの条件に合わせて的確にカスタマイズできます。

PUMAと異なる仕様として、PANDAメカニカルブースターポンプにはバイパスバルブが標準搭載されています。PUMA/PANDAの両シリーズともに、可変速ドライブに対応しています。

動作原理

PANDA/PUMAメカニカルブースターポンプのハウジング内では、2本のローターが同期回転しています。ローターの特殊形状と精巧な作りにより、ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。したがって、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。

ローターの回転で、ローターとハウジングの間に捕捉されたガスがバックポンプに運ばれます。

PANDA/PUMAシリーズのご紹介

  • panda_wz_2400_a
    PANDA WZ

    高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

    詳細情報
  • panda_wv_1000_c
    PANDA WV

    一般産業用途でパフォーマンスを最適化する、バイパスバルブ搭載製品

    詳細情報
  • puma_wy_0500_c
    PUMA WY

    高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

    詳細情報
  • puma_wp0500_d
    PUMA WP/WPA

    一般産業用途に最適な真空を提供

    詳細情報

PANDA WV

panda_wv_1000_c
一般産業用途でパフォーマンスを最適化する、バイパスバルブ搭載製品

  • 優れた排気効率
  • バイパスバルブ内蔵
  • ドライかつ非接触の圧縮方式
  • 最小限のメンテナンス
  • あらゆるタイプのバックポンプに適合

PANDA WVシリーズのメリット

PANDA WVは、低真空、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます

この製品にはバイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。

PANDA WVメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WVメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDA WVは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。また、可変速ドライブにも対応しています。

PANDA WVのすべての製品

  • PANDA WV 0250/0500 C
    PANDA WV 0250/0500 C

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 250.0 m³/h max. 500.0 m³/h

    詳細情報
  • PANDA WV 1200–2400 A
    PANDA WV 1200–2400 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 1050.0 m³/h max. 2120.0 m³/h

    詳細情報
  • PANDA WV 4500 B
    PANDA WV 4500 B

    到達真空度:

    設計排気速度:
    4500.0 m³/h

    詳細情報

PUMA WY

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高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

  • 可変速ドライブ対応
  • ドライかつ非接触の圧縮方式
  • あらゆるタイプのバックポンプに適合
  • 最小限のメンテナンス
  • 優れた排気効率
  • 気密性(> 1x10-6 hPa x l/s(mbar x l/s))
  • 機械的強度と耐薬品性の高いGGG40ハウジング

PUMA WYシリーズのメリット

PUMA WYは、中真空から高真空領域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

水冷モーターを直結式にすることで、 > フランジ式直結の水冷モーターを採用することで、PUMA WY メカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

PUMA WYメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WYメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WYは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WYは、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PUMA WYはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。

PUMA WYのすべての製品

  • PUMA WY 0500–1250 C
    PUMA WY 0500–1250 C

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 500.0 m³/h max. 1250.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WY 2000/4500 C
    PUMA WY 2000/4500 C

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 2010.0 m³/h max. 4500.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WY 3600 A
    PUMA WY 3600 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    3600.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WY 8000 A
    PUMA WY 8000 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    8100.0 m³/h

    詳細情報

PANDA WZ

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高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

  • 優れた排気効率
  • バイパスバルブ内蔵
  • 気密性(> 1x10-6 hPa x l/s(mbar x l/s))
  • ドライかつ非接触の圧縮方式
  • あらゆるタイプのバックポンプに適合
  • 最小限のメンテナンス

PANDA WZシリーズのメリット

PANDA WZは、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

フランジ式直結の水冷式モ ーターを採用することで、PUMA WZメカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PANDA WZはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。


PANDA WZメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WZメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDAメカニカルブースターポンプには、バイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。さらに、PANDA WZは可変速ドライブにも対応します。

PANDA WZのすべての製品

  • PANDA WZ 0250–2400 A/B
    PANDA WZ 0250–2400 A/B

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 263.0 m³/h max. 2120.0 m³/h

    詳細情報
  • PANDA WZ 3600 A
    PANDA WZ 3600 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    3600.0 m³/h

    詳細情報

PUMA WP/WPA

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一般産業用途に最適な真空を提供

  • 可変速ドライブ対応
  • ドライかつ非接触の圧縮方式
  • あらゆるタイプのバックポンプに適合
  • 最小限のメンテナンス
  • 優れた排気効率
  • 機械的強度と耐薬品性の高いGGG40ハウジング

PUMA WP/WPAシリーズのメリット

PUMA WP/WPAは、低真空および中真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます

PUMA WP/WPAは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WP/WPA は、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

PUMA WP/WPAメカニカルブースターポンプの動動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WP/WPAメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WP/WPAは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。

PUMA WP/WPAのすべての製品

  • PUMA WP 0250/0500 D2/D4
    PUMA WP 0250/0500 D2/D4

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 260.0 m³/h max. 520.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4
    PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 700.0 m³/h max. 1000.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WP 1250–4500 B2/D2
    PUMA WP 1250–4500 B2/D2

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 1295.0 m³/h max. 4500.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WPA 040–075 A
    PUMA WPA 040–075 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 3850.0 m³/h max. 7350.0 m³/h

    詳細情報
  • PUMA WPA 080/095 A
    PUMA WPA 080/095 A

    到達真空度:

    設計排気速度:
    min. 8000.0 m³/h max. 9535.0 m³/h

    詳細情報