PANDA/PUMA

PANDA WZは、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

フランジ式直結の水冷式モ ーターを採用することで、PANDA WZメカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PANDA WZはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。


PANDA WZメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WZメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDAメカニカルブースターポンプには、バイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。さらに、PANDA WZは可変速ドライブにも対応します。

PANDA WVは、低真空、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。

この製品にはバイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。

PANDA WVメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WVメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDA WVは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。また、可変速ドライブにも対応しています。

PUMA WYは、中真空から高真空領域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

フランジ式直結の水冷モーターを採用することで、PUMA WY メカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

PUMA WYメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WYメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WYは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WYは、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PUMA WYはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。

PUMA WPは、低真空および中真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。

PUMA WPは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WP は、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

PUMA WPメカニカルブースターポンプの動動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WPメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WPは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。

PUMA WGメカニカルブースターポンプは、粗真空領域において高い性能を発揮します。そのため、製鋼における真空脱ガスや蒸気回収など、大気圧への圧縮時に高い差圧と大きなガス処理量が求められる用途に最適です。PUMA WGブースターを2台直列に接続することで、到達圧力をさらに20～30 hPa（mbar）まで低減できます。さらにメカニカルブースターを追加し組み合わせることで、中真空領域においてより低い圧力を達成することも可能です。

内部ガス循環冷却により、PUMA WGメカニカルブースターは熱過負荷を生じることなく大気圧まで圧縮します。周囲空気や冷却水の代わりに、ガス冷却式真空ブースターは、吸引したガスの一部を熱管理（冷却）に利用します。

運転中、処理ガスは圧縮によって温度が上昇し、吐出口から排出されます。その後、このガスは排気側に接続された熱交換器を通過し、周囲の冷却水によって冷却されます。熱交換器のプレート壁を介して熱が冷却水へと伝達され、ガス温度が低下します。このようにして冷却されたガスの一部は圧縮チャンバーに再循環され、流入する処理ガスと混合することで内部コンポーネントを冷却します。この制御された循環により、到達圧力で運転している場合でも、熱がバランスよく分散されます。

PUMA WGブースターは、オプションの可変速ドライブ（VSD）を使用することで、要求される真空レベルに合わせて回転速度を最適化できるため、消費電力を低減し、運転効率を高めることができます。