PANDA/PUMA

PANDA WVは、低真空、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。

この製品にはバイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。

PANDA WVメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WVメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDA WVは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。また、可変速ドライブにも対応しています。

PUMA WYは、中真空から高真空領域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

フランジ式直結の水冷モーターを採用することで、PUMA WY メカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

PUMA WYメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WYメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WYは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WYは、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PUMA WYはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。

PANDA WZは、中真空および高真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。特に半導体プロセスを想定した設計となっています。

フランジ式直結の水冷式モ ーターを採用することで、PUMA WZメカニカルブースターは極めて高い気密性を備え、大気への漏れを防止しています。そのため、腐食性のあるガスや有毒ガスの取扱いが可能です。

モーターとハウジングとの間に連結部がないため、PANDA WZはコンパクトサイズです。この製品は、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。


PANDA WZメカニカルブースターポンプの動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PANDA WZメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PANDAメカニカルブースターポンプには、バイパスバルブが標準搭載されています。バイパスバルブがメカニカルブースターポンプを過負荷や加熱から確実に保護することで、差圧が高い場合にも使用できます。さらに、PANDA WZは可変速ドライブにも対応します。

PUMA WPは、低真空および中真空域において、あらゆるタイプのバックポンプの性能を大幅に高めます。

PUMA WPは、プレッシャースイッチを使用した制御が可能です。運転圧力が設定値に達すると、プレッシャースイッチが、メカニカルブースターポンプを起動します。他にもPUMA WP は、可変速ドライブバージョンもご用意しています。

PUMA WPメカニカルブースターポンプの動動作原理は完全な非接触式のため、プロセスチャンバー内に潤滑剤や作動流体は一切不要です。そのため、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、PUMA WPメカニカルブースターポンプは、高い排気効率と低消費電力を特徴とします。このようなすべての要素が、運用コストの低減につながっています。

PUMA WPは、バックポンプあるいはシステムの適所にフランジ接続することができます。