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PUMA WY 3600 A

メカニカルブースターポンプ

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高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

高信頼性

粉体や粒子状のデポジットの堆積を防ぐ堅固なローブローターデザイン、GGG40製の堅牢な構造、リークタイト

高性能

粉体や粉じんを伴う半導体プロセスなど、中~高真空領域での過酷なアプリケーション向け特殊設計、優れた容積効率

フレキシブル

さまざまな運転状況下で信頼性の高いパフォーマンス、あらゆるタイプのバックポンプの性能を強化

技術仕様