
動作原理
適当量の封液を入れたハウジング内で、偏心して取り付けられたインペラーが回転します。インペラーブレードが封液に浸り、インペラーの回転とそれに伴う遠心力によりハウジング内にいわゆるリキッドリングを形成します。
吸引されたガスがインペラーブレードとリキッドリングに囲まれた空間で捕捉されます。偏心した位置に取付けられたインペラーが回転することで、この空間の容積が変化し、 ガスの吸引、圧縮、排気が行われます。
1段式バージョンでは、圧縮は1度実行されます。2段式バージョンでは、吸引されたガスが再度圧縮され、より高い真空レベルに到達することができます。
封液は通常は水ですが、プロセス条件で必要な場合には、他の液体を使用することも可能です。
水封式真空ポンプの封液システムには、シンプルなワンパス(循環なし)、部分循環、完全循環といったシステムがあります。また、コンプレッサーとしてもお使いいただけます。