オールラウンダー。

オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ。

ドライ式。

ドライロータリーベーン真空ポンプ。

ハーシュプロセス向け。

ワンス スルー オイル式ロータリーベーン真空ポンプ。

研究室向け真空ポンプ。

2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ。

ドライクロー真空ポンプ

オールラウンダー。

ドライスクリュー真空ポンプ。

ファブの御用達。

半導体業界向けドライスクリュー真空ポンプ。

水封式真空ポンプ

多段ルーツ真空ポンプ。

スクロール真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

拡散真空ポンプ

コネクテッド対応ロータリーベーン真空ポンプ

コネクテッド対応ドライスクリュー真空ポンプ

ドライロータリーベーンコンプレッサー

ドライクローコンプレッサー

水封式コンプレッサー

ルーツブロワー

サイドチャネルブロワー

追加費用不要、すぐに使えるシステム設計。

お客様のためだけに構築された、テーラーメイド真空システム。

複数のプロセスまたは機械向けの集中真空システム。

真空プロセスの効率性のためには適切なオイルを選択することが非常に重要です。

ベーンは、ロータリーベーン真空ポンプでの真空生成に不可欠です。

エキゾーストフィルターにより、排気ガスからオイルミストが分離されます。

Buschの純正サービスキットは、お使いのBusch製品の定期メンテナンスおよび修理をご自身で行うための、簡単でコスト効率に優れたソリューションです。

後付ユニットによりお使いの真空ポンプの性能と効率性が向上します。

Buschのオイルドレンシステムにより、オイル交換を安全かつ清潔に実行できるほか、作業時間が最大90%短縮します。

スタンディングフィルターは、さまざまな分離メカニズムを多段に組み合わせた製品です。

真空計は、真空プロセスのモニタリングと制御に利用できます。

リークディテクターは、リーク位置を特定し、リーク量を定量化します。

お使いの真空ポンプの状況を監視

VACTEST真空計から送られる
測定データのモニタリングと分析

OTTOデジタルサービスでは、お好みのサービスパッケージと状態のモニタリングを組み合わせてご利用いただけます。

半導体業界向けドライスクリュー真空ポンプ。

ガス除害装置は、有毒ガス、可燃性ガス、有害ガスの除害に使用されます。

TORRIルーツブロワーは、ロードロックチャンバーの排気に使用されます。