COMBI
真空ポンプユニットCOMBI真空ポンプユニットは、ほぼすべての産業プロセスにおける要件を満たす、理想的な真空発生装置です。メカニカルブースターポンプとバックポンプが1つのコンパクトなユニットに統合されています。
ブースターとバックポンプの組み合わせが多様であるため、プロセス条件や吸引するガスに合わせ、動作圧力と排気速度を調整することができます。対応するアプリケーションも多彩です。例えば、コーティング、熱処理、真空乾燥、ラミネート加工、真空包装、ロードロックチャンバーなどが挙げられます。
メカニカルブースターとバックポンプのサイズや組み合わせにより、いくつかのバージョンをご用意しています。真空ポンプとブースターは、ベースフレーム上で直接フランジ接続する構成と、フレームラックに搭載する構成のいずれにも対応しています。
COMBIシリーズには以下のバージョンがあります：
- COMBI BRV：R5オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプをバックポンプとして、PANDAをメカニカルブースターポンプとして使用。
- COMBI BNV：COBRAドライスクリュー真空ポンプをバックポンプとして、PANDAをメカニカルブースターポンプとして使用。
- COMBI CMM：2台のMINK MMドライクロー真空ポンプを搭載し、一方を他方のバックポンプとして使用。
