真空計
真空レベルを制御することで、スムーズなプロセスと最高の製品品質が確保されます。
Busch VACTESTは、真空計の新たな基準を打ち立てます。VACTESTは、最新の真空計測技術と優れた製造品質を融合した設計です。このシリーズは革新的なアクティブ真空計や制御装置で包括的に構成されています。
メリット一覧
高機能
フルレンジの測定範囲（1600～5 · 10⁻¹⁰ hPa（mbar））、最先端のマイクロコントローラー技術
高信頼性
ハイスタンダード、堅牢な構造、耐衝撃性
高効率性
モジュラー設計、プラグアンドプレイのセンサーにより稼働時間を最大化
VACTESTは信頼性、耐久性、使い勝手に優れた真空計です。他の会社にもVACTESTをお勧めできます。
BuschのVACTESTは、精度、測定範囲、機能など、お使いの真空システムまたはプロセスにおける要件を、3つの製品ラインで満たします。
最先端技術により、あらゆる真空レベルを網羅する1,600～5 ･ 10-10 hPa（mbar）という幅広い測定範囲が実現しています。
すべてのセンサーがCEやRoHSなどの国際規格および規制に準拠しています。当社の真空ポンプ、ブロワーおよびコンプレッサー製品ラインアップの動作圧力範囲に対応し、それぞれのプロセスに適した選択が可能です。
最先端技術により、あらゆる真空レベルを網羅する1,600～5 ･ 10-10 hPa（mbar）という幅広い測定範囲が実現しています。
すべてのセンサーがCEやRoHSなどの国際規格および規制に準拠しています。当社の真空ポンプ、ブロワーおよびコンプレッサー製品ラインアップの動作圧力範囲に対応し、それぞれのプロセスに適した選択が可能です。
モバイルゲージ
VACTESTモバイルゲージは、保守点検や真空プロセスの精度検査に最適な携帯型ソリューションです。このバッテリー駆動ゲージには、データのエクスポートおよび視覚化のためのUSBインターフェース、データロガーなどのさまざまな機能が搭載されているほか、真空下でも使用できます。
デジタルトランスミッター
VACTESTデジタルトランスミッターは、標準ですべての機能を備えたハイエンドのゲージです。スマートマイクロコントローラーアーキテクチャにより、センサー制御の最適化だけでなく、多様な設定が可能となり、さまざまな用途で理想的なソリューションとしてお使いいただけます。
アナログトランスミッター
VACTESTアナログトランスミッターはコンパクトで堅牢、かつ機能的な設計が特徴です。測定の精度と安定性に優れたこれらのトランスミッターは、集中監視および制御システムに最適です。
制御ユニット
CTR 002、CTR 004は、2台または4台の真空計を同時に運用するためのコンパクトな制御ユニットです。
真空計のタイプ
-
それぞれの真空レベルに適した測定原理
-
それぞれの真空レベルに適した測定原理
直接的圧力測定
（ガス種依存性なし）
直接測定方法では、プロセスガスに依存せず、分子の流れによってダイアフラムに加えられる力に基づき測定します。この方法は、低真空や中真空プロセスに使用されます。圧力が低下するにしたがって、ガス分子が減少し、センサーによる正しい検出ができなくなります。
ピエゾ抵抗センサー
堅牢でコスト効率に優れたピエゾ抵抗センサー技術は、ダイアフラム変位によるひずみゲージの抵抗の変化を測定します。この方法は汎用性が高く、低真空領域の絶対圧力測定に最適です。- 測定範囲：1600～1 hPa（mbar）
- 優れた測定精度
- 薬品耐性を持つセラミックセンサー
- 速い応答時間
- 高い信頼性
- 長期安定性
静電容量式センサー
分解能と精度の高い容量式センサーは、ダイアフラム変位に誘発されるプレートコンデンサーの電気容量の変化を測定します。これらのセンサーは、高い精度と化学的適合性が求められる産業用途向けに特別に設計されたものです。- 測定範囲：200～0.1 hPa（mbar）
- 優れた測定精度
- 薬品耐性を持つセラミックセンサー
- 高い信頼性
- 温度補償
- 産業用の金属製設計
- 高い保護等級
間接的圧力測定
（ガス種依存性あり）
より高い真空レベルでは、熱伝導率やイオン化率などプロセスガスの特性に基づいた間接的な測定原理が用いられます。直接測定法とは反対に、これらの原理はプロセスガスの性質に依存するため、空気や窒素とは異なり、プロセスガスごとに特定の補正係数を適用する必要があります。
ピラニゲージ
堅牢で信頼性の高いピラニ技術は、ガスの熱伝導を測定します。加熱されたフィラメントからその周囲への熱伝導はその環境の圧力に比例します。ピラニセンサーは中真空用途に最適なソリューションです。- 1000 ～1·10-4 hPa（mbar）の幅広い測定範囲
- オプションでのピエゾ抵抗センサーとの組み合わせにより、高圧測定時の精度を向上
- 精度と耐久性を高めるらせん状コイルフィラメント
- 個別の温度補償による優れた安定性
- 優れた汚染耐性
- 腐食性用途のためのPt/Rhフィラメント（オプション）
冷陰極ゲージ
コスト効率に優れた堅牢な冷陰極（逆マグネトロン）は、プラズマの電気伝導性を測定します。中性ガス分子が電子との衝突によってイオン化され、陰極に集められます。発生した電流は、高真空および超高真空プロセスにおける圧力を示します。- ピラニセンサーとの組み合わせにより測定範囲を拡大： 1000～5·10-9 hPa（mbar）
- 測定の不確実性が低い：高真空で < 25%
- センサーの寿命を延ばす自動オン/オフ機能
- 高真空でも迅速な点火
- 浮遊磁場の影響が少ない
- 運転中のピラニゼロ点の自動調整
熱陰極ゲージ
ベヤードアルパート原理に倣った、安定性と再現性に優れた熱陰極は、熱電子放射を介してガスのイオン化を測定します。イオン回収器の電流は、ガス圧力と直線的に関連付けられます。この技術は、高真空および超高真空向けの最も正確な測定原理の1つです。- ピラニセンサーとの組み合わせにより測定範囲を拡大： 1000～5·10-10 hPa（mbar）
- 10hPa（mbar）以下の環境でも10%以下の優れた測定精度
- ダブルフィラメントによる耐用年数の強化
- センサーの寿命を延ばす自動オン/オフ機能
- 運転中のピラニゼロ点の自動調整
- 100,000を超える衝撃通気サイクルでテスト済み
キャリブレーションサービス
FAQ
真空計とは何ですか？
真空計は、アプリケーションにおける真空レベルを測定する機器です。これにより、プロセス全体を通して正しい真空レベルが確実に供給されるようになります。真空レベルをモニタリングすることで、スムーズなプロセスと最高の製品品質が確保されます。例えば、食品が適切に包装される、異なる素材の層が精密に貼り合わされる、などです。
その特徴は堅牢性、信頼性と高い測定精度です。産業分野においても、研究においても、お使いの真空プロセスをモニタリングし、制御するための理想的な選択肢となります。
適切な真空測定機器を選ぶにはどうすればよいですか？
ご使用のプロセスに適した測定原理の真空ゲージを選択する場合は、圧力範囲、必要な精度、ガス組成、プロセスおよび環境条件を把握しておくことが不可欠です。
適切なゲージの選択については、Buschにお問い合わせください。
1. 圧力範囲と必要な精度
ご使用の真空ポンプで生成される真空レベルを正確に読み取るには、その真空ポンプの圧力範囲に対応するゲージが必要となります。そうでなければ、プロセスの真空領域を測定できないゲージを手にしてしまうことも考えられます。VACTESTが対応している圧力範囲を下表に示します。圧力範囲によっては、1つの機器で異なる測定原理を組み合わせる必要がある場合があります。測定原理 | 圧力範囲 | 精度 |
|---|---|---|
ピエゾ抵抗 | 1600～1 hPa（mbar） | < 0.3% full scale |
静電容量式 | 200～0.1 hPa（mbar） | < 0.25% full scale |
ピラニ | 1000～1 · 10-4 hPa（mbar） | 1000～20 hPa（mbar）：読み取り値から30% 20～2.0·10-3 hPa（mbar）：読み取り値から10% |
冷陰極 | 2 · 10-3～5 · 10-9 hPa（mbar） | 読み取り値から < 25% |
熱陰極 | 3 · 10-3～5 · 10-10 hPa（mbar） | 読み取り値から<10% |
2. ガス組成
真空ゲージに搭載されるセンサーは、測定媒体と接触する可能性があります。この接触によって生じる反応を考慮します。たとえば、媒体に腐食性があるか、特定の温度で固化するか、または検出素子に堆積物が付着する可能性があるか、などがこれに該当します。3. プロセスと環境条件
ゲージを使用する際の動作条件について考慮します。温度、湿度、ほこりなどは、すべて精度と耐久性に影響を与える可能性があります。真空計によって何が分かりますか？
真空計は、プロセスにおける真空レベルを測定します。
圧力ゲージと真空計の違いは何ですか？
圧力ゲージは、システムと大気圧の圧力差を測定する機器です。したがって、真空系は圧力ゲージの一種と考えることができます。
ただし、真空計以外の圧力ゲージは、主に大気圧以上の圧力を測定するために使用され、一方で、真空計は大気圧未満の圧力を測定することになります。
アナログゲージの技術的特徴はどのようなものですか？
アナログゲージには5つの技術的特徴があります。
1.高性能：優れた機能を標準装備。
- 幅広い測定範囲（1200–5 10-10 hPa（mbar））
- 優れた測定の正確さと信頼性
- デジタルマイクロコントローラーのインテリジェンス
- 標準で2つのセットポイント
- 電子部品を取り外すことなく、最高180℃までのベークアウトが可能
2.堅牢性と耐久性：産業用途向けに開発。
- 堅牢なセンサー、大気導入の衝撃および振動への耐性
- メタルシールによる極めて低いリーク率
- IP40またはオプションでIP54
- 10barまでの許容圧力
3.様々な用途に対応：非常に高い柔軟性。
- RS485インターフェースおよび0–10Vの出力信号
- 統合型の見やすいディスプレイ（オプション）
- 他社製ゲージにも対応 - カスタマイズ可能な出力信号
- 制御装置なしで、個別のゲージ電源供給が可能
4.優れた制御：柔軟な構成。
- 外付けの制御装置により、測定値をすばやく確認
- PLCまたはPC経由でカスタマイズ可能なゲージ構成
- Bluetoothモジュールを介した無線接続
- VACTESTエクスプローラーソフトウェア経由の構成とデータ管理
5.取付や保守などの作業が容易：交換センサーはプラグアンドプレイ。
- ユーザーが現場で交換可能
- 特殊工具不要
- キャリブレーションなしで交換可能なセンサー
- 交換センサーがすべてのパラメーターを自動引き継ぎ
デジタルゲージの技術的特徴はどのようなものですか？
デジタルゲージには3つの技術的特徴があります。
1.最先端のテクノロジー：正確な測定結果。
- 幅広い測定範囲（1400～1 10-4 hPa（mbar))で低真空から中真空領域全体をカバー
- 優れた測定精度
- 個別の温度補償による優れた測定の安定性
2.信頼性と安全性：産業用途の要件に適合。
- 堅牢なステンレス製ハウジング
- 衝撃および振動に対する耐性
- 高度な用途における信頼性
- メタルシールによる極めて低いリーク率
3.広い適応範囲：あらゆるプロセスに対応。
- 非常にコンパクトな設計
- 柔軟なアナログ出力信号（モデルに応じて0～10Vまたは4～20mA）
- デジタル押しボタンによるゼロ点調整
- 外付け制御装置に対応
モバイルゲージの技術的特徴はどのようなものですか？
モバイルゲージには4つの技術的特徴があります。
1.優れた精度：長期的測定可能。
- 幅広い測定範囲（1600～5 10-4 hPa（mbar））
- 最高0.3% full scaleまでの優れた測定精度
- 最長2500時間のバッテリー寿命
2.コンパクトでポータブル：ユニークなハンディーゲージシリーズ。
- 非常にコンパクトで軽い、持ち運び型の真空計
- 耐用年数の長いらせん状コイルフィラメントを搭載した取り外し可能な外付けピラニセンサー（TTP 900）
- 高度な用途における信頼性
- 真空チャンバー内で使用可能
3.インターフェースオプション：データログおよびメモリ機能。
- データエクスポートおよび視覚化のためのUSBインターフェース
- USB経由でのPCへのオンライン読み取り
- VACTESTエクスプローラーソフトウェア経由の簡単なデータエクスポートと管理
- 最大2000件の測定値まで対応できるデータログ機能
- 最小および最大のメモリ機能
4.メンテナンスを重視した設計：簡易真空テスト。
- 真空設備の簡単なメンテナンス点検用に設計
- 圧力低下または上昇メソッドによる排気速度および漏れ率点検機能
どの程度の頻度でゲージをキャリブレーションすればよいですか？
真空計は毎年キャリブレーションする必要があります。
ゲージの再キャリブレーションが必要ですか？Buschキャリブレーションサービスの詳細をご覧いただくか、Buschにお問い合わせください。
真空計の一般的な用途はどのようなものですか？
アクティブセンサーコントローラーとは何ですか？
アクティブセンサーコントローラーを利用すると、すべての測定値を一目で把握することができます。2台または4台の真空センサーを同時に操作するための、コンパクトな制御ユニットを2種ご用意しています。卓上またはラックマウントで利用できるこれらのコントローラーには、バックライト付きの大型LCDディスプレイ、複数のリレー接点、およびUSBとRS232の両方のインターフェースが搭載されています。CTR 002およびCTR 004は、直感的なナビゲーションによりセンサーのフル制御と設定が可能です。各種パラメーター、たとえばガス種補正係数、圧力単位、セットポイントなどを、簡単に調整できます。
ゲージをどのように保護すればよいですか？
ゲージの耐用年数を延ばし、測定精度を保証するためには、汚染からゲージを保護することが重要です。したがって、センサーと真空システムとの間に保護具を設置することを強く推奨します。Buschでは、お使いの測定機器を安全にお使いいただけるよう、バッフル、ワイヤーフィルターおよびらせん状チューブをご用意しています。
センサーヘッドを交換できますか？
すべてのデジタルトランスミッター用に予備のセンサーヘッドを用意しています。プラグアンドプレイ機能により、キャリブレーションと設定のパラメーターが保持されるため、プロセスに影響を及ぼすことなく、迅速にセンサーを交換できます。
真空計をソフトウェアで制御できますか？
Buschは、迅速かつ効率的な方法でプロセスデータを視覚化し、分析し、比較するための不可欠なソフトウェアツールとしてVACTESTエクスプローラーを提供しています。VACTESTエクスプローラーには、LiteバージョンとProバージョンがあり、漏れ率の計算、アクティブセンサーコントローラーのリモート制御、排気曲線の比較、すべてのデジタルトランスミッターパラメーターの構成など、さまざまな機能が搭載されています。