高気密でパフォーマンスを最適化する中～高真空向け製品
高信頼性
堅固なローターデザイン、堅牢な構造、さまざまな運転条件下での高信頼性、高気密、バリアガス接続
高性能
高い排気効率。優れた到達圧力。バイパスバルブ内蔵。ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体プロセスなどの中-高真空アプリケーションに特化した設計。
フレキシブル
システムの任意の位置にフランジで取り付け可能、あらゆるタイプのバックポンプの性能を向上、横方向または縦方向の排気
技術仕様
マーケット & アプリケーション
食品加工
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フリーズドライ
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真空冷却
冶金
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コーティング
太陽光パネル関連
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プラズマCVD (PECVD)
設計オプション
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ATEX - 爆発危険区域内での使用を想定。