高気密でパフォーマンスを最適化する中～高真空向け製品
高信頼性
堅固なローターデザイン、鋳鉄（GGG40）製の堅牢な構造、高気密、さまざまな運転条件下での高信頼性
高い性能
優れた排気効率、真空システムの性能を最大で10倍に向上、半導体用途を含む中真空および高真空向けの特殊設計
フレキシブル
システムの任意の位置にフランジで取り付け可能、あらゆるタイプのバックポンプの性能を向上
技術仕様
マーケット & アプリケーション
分析と研究開発
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コーティング
冶金
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コーティング