高気密でパフォーマンスを最適化する中～高真空向け製品
高信頼性
粉体や粒子状のデポジットの堆積を防ぐ堅固なローブローターデザイン、GGG40製の堅牢な構造、リークタイト
高性能
粉体や粉じんを伴う半導体プロセスなど、中～高真空領域での過酷なアプリケーション向け特殊設計、優れた容積効率
フレキシブル
さまざまな運転状況下で信頼性の高いパフォーマンス、あらゆるタイプのバックポンプの性能を強化
技術仕様
マーケット & アプリケーション
フラットパネルディスプレイ関連
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プラズマCVD (PECVD)
半導体関連
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ハーシュプロセス
太陽光パネル関連
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プラズマCVD (PECVD)