COBRA Semicon

COBRA BAは、実証済みのドライスクリュー真空ポンプであり、殺菌、メトロロジー、ガス回収あるいは炉の用途など、厳しい要件のプロセスに最適です。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。

COBRA BA真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。

COBRA BA真空ポンプは、効率的な空冷方式を特徴とします。

直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BAシリーズは非常にコンパクトです。

COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。

COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。

COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。

COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。

完全にオープンな通信プロトコル（Modbus TCP-IP）で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。

直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

COBRA DSドライスクリュー真空ポンプは、厳しい要件のプロセスに理想的な真空発生器です。水素ガスの高い処理能力が求められる状況下でも利用できるため、 CVD、ラピッドサーマルプロセスまたALDに最適です。

COBRA DSシリーズの多くのモデルは、高性能のメカニカルブースターを搭載しています。バックポンプとメカニカルブースターを組み合わせることで、排気速度と到達真空度が高まります。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計が、高い粉体処理能力と優れたアップタイムを約束します。

COBRA DS真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。

COBRA DSシリーズの真空ポンプには効率的な間接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度分布を制御することができます。プロセスの変化にもいつでも対応することができます。

設置場所を選ばない設計のため、COBRA DSは既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。