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COBRA Semicon

ドライスクリュー真空ポンプ

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COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。

COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。

COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。

ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。

COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。

動作原理

COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。

COBRA Semiconシリーズのご紹介

  • cobra_ba_0100_c
    COBRA BA

    空冷式「プラグ アンド ポンプ」ソリューション

    詳細情報
  • cobra_bc_1000_f_1
    COBRA BC

    半導体のライト~ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション

    詳細情報
  • cobra_ds_1200_a
    COBRA DS

    ハーシュプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ

    詳細情報

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
空冷式「プラグ アンド ポンプ」ソリューション

  • 高度なスクリュー設計
  • ドライかつ非接触式の動作原理
  • 独自のフライングベアリング設計
  • カンチレバー構造
  • コンパクト設計
  • 効果的な空冷方式
  • オプションの周波数コンバーター

COBRA BAシリーズのメリット

COBRA BAは、実証済みのドライスクリュー真空ポンプであり、殺菌、メトロロジー、ガス回収あるいは炉の用途など、厳しい要件のプロセスに最適です。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。

COBRA BA真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。

COBRA BA真空ポンプは、効率的な空冷方式を特徴とします。

直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BAシリーズは非常にコンパクトです。

COBRA BAのすべての製品

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    到達真空度:
    0.01 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    85.0 m³/h

    詳細情報

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
半導体のライト~ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション

  • 高度なスクリュー設計
  • ドライかつ非接触式の動作原理
  • 独自のフライングベアリング設計
  • カンチレバー構造
  • 設置場所を選ばないコンパクト設計
  • 直接水冷方式
  • 完全にオープンな通信プロトコル

動画:COBRA BC真空ポンプの仕組み

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COBRA BCシリーズのメリット

COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。

COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。

COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。

COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。

完全にオープンな通信プロトコル(Modbus TCP-IP)で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。

直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

COBRA BCのすべての製品

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    到達真空度:
    0.01 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 100.0 m³/h max. 165.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    到達真空度:
    0.005 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 115.0 m³/h max. 175.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    到達真空度:
    0.01 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    100.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    520.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    530.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 550.0 m³/h max. 1200.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 930.0 m³/h max. 1580.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    955.0 m³/h

    詳細情報

COBRA DS

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ハーシュプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ

  • 高度なスクリュー設計
  • ドライかつ非接触式の動作原理
  • 粉体処理能力
  • 効率的な間接水冷方式
  • 設置場所を選ばないコンパクト設計
  • 優れた水素排気性能
  • 高効率モーター
  • メカニカルブースター搭載タイプ

COBRA DSシリーズのメリット

COBRA DSドライスクリュー真空ポンプは、厳しい要件のプロセスに理想的な真空発生器です。水素ガスの高い処理能力が求められる状況下でも利用できるため、 CVD、ラピッドサーマルプロセスまたALDに最適です。

COBRA DSシリーズの多くのモデルは、高性能のメカニカルブースターを搭載しています。バックポンプとメカニカルブースターを組み合わせることで、排気速度と到達真空度が高まります。

特許取得のセルフバランシングスクリュー設計が、高い粉体処理能力と優れたアップタイムを約束します。

COBRA DS真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。

COBRA DSシリーズの真空ポンプには効率的な間接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度分布を制御することができます。プロセスの変化にもいつでも対応することができます。

設置場所を選ばない設計のため、COBRA DSは既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

COBRA DSのすべての製品

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    到達真空度:
    0.03 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 70.0 m³/h max. 140.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    到達真空度:
    0.01 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    600.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 500.0 m³/h max. 1365.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 1200/1800 A/A H
    COBRA DS 1200/1800 A/A H

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 1200.0 m³/h max. 1700.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 2141 A
    COBRA DS 2141 A

    到達真空度:
    0.003 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    1875.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 2610–3161 B/E/F
    COBRA DS 2610–3161 B/E/F

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 1830.0 m³/h max. 3200.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 3181 B
    COBRA DS 3181 B

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    3500.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 4200.0 m³/h max. 6160.0 m³/h

    詳細情報
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    到達真空度:
    0.001 hPa (mbar)
    設計排気速度:
    min. 7000.0 m³/h max. 7385.0 m³/h

    詳細情報