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真空排気

真空排気。密閉された物理的な空間内から、 大気あるいはその他のガスを排出することで負圧にするプロセスです。

研究室向け真空チャンバー

真空排気の仕組み

真空テクノロジーの最も一般的な用途の1つが、真空排気、すなわち容器などの物理空間の排気です。定められた目標圧力に達するまで、大気やその他のガスを排出します。

真空排気には、多岐にわたる用途があります。真空チャンバーは、さまざまなプロセスに利用されています。その目的は、大気や酸素の存在が邪魔になる製造プロセスやテストプロセスを実行することです。

真空排気が利用される典型的な例としては、半導体産業のプロセスチャンバーやスペースチャンバーなどが挙げられますが、 真空炉や成膜装置のチャンバーの排気にも利用されます。

Buschの真空排気用真空テクノロジー

必要とされる真空レベルは用途により異なり、 クリーンルーム用の低真空から半導体製造におけるシリコンウエハーのコーティング用の高真空までさまざまです。そのため、適切な真空発生器も非常に多岐にわたります。真空供給の選択時に検討すべき主な要素には、排気する量や容器内で必要となる到達真空度が含まれます。

当社の幅広い製品ラインナップにより、あらゆる要件に対応します。すべての排気プロセス向けに最適なソリューションを提供。

包装業界の真空排気

食品包装業界の真空排気
真空は、包装業界、とくに食品包装において重要な役割を果たしています。真空を利用して包装から空気を抜くことにより、 包装された製品の品質が保持されるほか、長期保存も可能となります。

フィルムやバッグ、成形済みトレーなどと包装する製品を一緒に包装チャンバー内に配置します。その後、真空ポンプによってそのチャンバーが排気されます。このとき、周囲空気と合わせて空気中の酸素も吸い出されることになります。所定の真空レベルに到達したら、包装材の口を合わせます。次に包装チャンバーに空気を入れて大気圧とすることで、 包装材が製品に押し付けられ、その状態で封をします。

酸素の影響を受けやすい日持ちのしない食品の包装には、ガス置換包装というプロセスが適しています。このプロセスでは、空気の代わりに保護ガスをいれることでチャンバーを大気圧にします。

最適な製品

真空排気の事例

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