真空排気の仕組み
真空テクノロジーの最も一般的な用途の1つが、真空排気、すなわち容器などの物理空間の排気です。定められた目標圧力に達するまで、大気やその他のガスを排出します。真空排気には、多岐にわたる用途があります。真空チャンバーは、さまざまなプロセスに利用されています。その目的は、大気や酸素の存在が邪魔になる製造プロセスやテストプロセスを実行することです。
真空排気が利用される典型的な例としては、半導体産業のプロセスチャンバーやスペースチャンバーなどが挙げられますが、 真空炉や成膜装置のチャンバーの排気にも利用されます。