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真空排気

真空排気。密閉された物理的な空間内から、 大気あるいはその他のガスを排出することで負圧にするプロセスです。

研究室向け真空チャンバー

真空排気の仕組み

真空テクノロジーの最も一般的な用途の1つが、真空排気、すなわち容器などの物理空間の排気です。定められた目標圧力に達するまで、大気やその他のガスを排出します。

真空排気には、多岐にわたる用途があります。真空チャンバーは、さまざまなプロセスに利用されています。その目的は、大気や酸素の存在が邪魔になる製造プロセスやテストプロセスを実行することです。

真空排気が利用される典型的な例としては、半導体産業のプロセスチャンバーやスペースチャンバーなどが挙げられますが、 真空炉や成膜装置のチャンバーの排気にも利用されます。

Buschの真空排気用真空テクノロジー

必要とされる真空レベルは用途により異なり、 クリーンルーム用の低真空から半導体製造におけるシリコンウエハーのコーティング用の高真空までさまざまです。そのため、適切な真空発生器も非常に多岐にわたります。真空供給の選択時に検討すべき主な要素には、排気する量や容器内で必要となる到達真空度が含まれます。

当社の幅広い製品ラインナップにより、あらゆる要件に対応します。すべての排気プロセス向けに最適なソリューションを提供。

真空排気についての詳細はこちら

真空排気とは何ですか ?

排気とは、ガスで満たされた空間から、設定した目標圧力に達するまで、ガスを抜くプロセスです。ほとんどの場合、このガスは大気です。

真空排気システムはどのように動作しますか ?

真空排気は、生産サイクルにおいて、材料の品質を保護する目的で行われます。必要な真空レベルに達するまで、チャンバーからガス粒子を排出します。これにより、チャンバー内の材料を、トップレベルの製品を作るのに最適な状態にします。

真空排気はどこで利用されますか ?

排気はさまざまな用途で使用されます。大気や酸素の存在が邪魔になる製造や試験プロセスが、排気することで問題なく行えるようになります。

他の技術と比較して真空排気の利点は何ですか ?

真空排気は、さまざまな用途で利用されています。このテクノロジーの利点も極めて多岐にわたります。例えば、成形 プレス工程では真空排気によって製品表面に均一な圧力がかかります。純粋なプレス用途とは異なり、複雑な金型の形状をより精密に再現することができます。食品製造では、食品を長期間保存するのに役立ちます。熱成形では、真空排気によりエネルギーを節約することができます。

Buschの排気プロセスに最適な真空ポンプはどれですか ?

R5 ロータリーベーン真空ポンプ、MINKクロー真空ポンプ、COBRAスクリュー真空ポンプは、排気用途の最適なソリューションです。高真空排気プロセスには、R5またはCOBRA真空ポンプとメカニカルブースターPANDA/PUMAシリーズを組み合わせた構成の真空システムをお勧めします。排気量が小さくて良い場合にはZEBRAロータリーベーン真空ポンプを推奨します。

Buschの真空テクノロジーを排気用途で使用する例をいくつか教えてください。

排気目的で利用されているBuschの真空テクノロジーの例です:

  • 真空包装における包装チャンバーの排気
  • 真空容器の排気
  • 熱処理における真空炉の排気
  • 表面処理用のコーティングチャンバーの排気、
  • スペースチャンバーの排気
  • ウエハー製造におけるトランスファーチャンバーの排気
  • 半導体製造用のチャンバーの排気

真空排気ユニットを導入する際に考慮すべき重要なポイントは何ですか ?

真空排気システムを選ぶ際に考慮すべき重要な要素には、排気する容量と、必要とされる到達真空度があります。

包装業界の真空排気

食品包装業界の真空排気
真空は、包装業界、とくに食品包装において重要な役割を果たしています。真空を利用して包装から空気を抜くことにより、 包装された製品の品質が保持されるほか、長期保存も可能となります。

フィルムやバッグ、成形済みトレーなどと包装する製品を一緒に包装チャンバー内に配置します。その後、真空ポンプによってそのチャンバーが排気されます。このとき、周囲空気と合わせて空気中の酸素も吸い出されることになります。所定の真空レベルに到達したら、包装材の口を合わせます。次に包装チャンバーに空気を入れて大気圧とすることで、 包装材が製品に押し付けられ、その状態で封をします。

酸素の影響を受けやすい日持ちのしない食品の包装には、ガス置換包装というプロセスが適しています。このプロセスでは、空気の代わりに保護ガスをいれることでチャンバーを大気圧にします。

最適な製品

真空排気の事例

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