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COBRA BC 0601–1200 A/G

ドライスクリュー真空ポンプ

お見積り

または、当社に直接お電話ください: 050 5050 8525

軽~中負荷の半導体用途向けに理想的なソリューション

高い性能

高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、推奨用途は低温ALD、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、急速熱処理、エッチング (酸化物、シリコン、金属など)

高効率性

所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、直接水冷方式

コンパクト

設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプとメカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置

技術仕様

マーケット & アプリケーション

バイオガス関連
  • 改質 - PSA (圧力変動吸着法)
半導体関連
  • ミディアムプロセス
太陽光パネル関連
  • 物理蒸着 (PVD)