COBRA BC 0601–1200 A/G
ドライスクリュー真空ポンプ
軽~中負荷の半導体用途向けに理想的なソリューション
高い性能
高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、推奨用途は低温ALD、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、急速熱処理、エッチング (酸化物、シリコン、金属など)
高効率性
所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、直接水冷方式
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプとメカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置
技術仕様
マーケット & アプリケーション
バイオガス関連
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改質 - PSA (圧力変動吸着法)
半導体関連
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ミディアムプロセス
太陽光パネル関連
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物理蒸着 (PVD)