ロードロックチャンバー向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューション
フレキシブル
ロードロックチャンバー向けとして最短の排気時間
高効率性
極めて低いエネルギー消費、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
コンパクト
極めて小型かつ軽量
ブラウザを更新してください。
お使いのMicrosoft Edgeブラウザは最新版ではありません。Buschのウェブサイトを十分にご活用いただくには、ブラウザの更新が必要です。
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