厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ
高い性能
高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適
高効率性
所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター
技術仕様
マーケット & アプリケーション
バイオガス関連
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改質 - PSA (圧力変動吸着法)
フラットパネルディスプレイ関連
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プラズマCVD (PECVD)
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ロードロックチャンバー
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有機EL (OLED)
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物理蒸着 (PVD)
リチウムイオン電池製造
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デガッシング
半導体関連
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ミディアムプロセス
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ハーシュプロセス
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ライトプロセス
太陽光パネル関連
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プラズマCVD (PECVD)