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COBRA DS 0700–2000 G

ドライスクリュー真空ポンプ

お見積り

または、当社に直接お電話ください: 050 5050 8525

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ

高い性能

高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適

高効率性

所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力

コンパクト

設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置

技術仕様

マーケット & アプリケーション

バイオガス関連
  • 改質 - PSA (圧力変動吸着法)
フラットパネルディスプレイ関連
  • プラズマCVD (PECVD)
  • ロードロックチャンバー
  • 有機EL (OLED)
  • 物理蒸着 (PVD)
リチウムイオン電池関連
  • デガッシング
半導体関連
  • ミディアムプロセス
  • ハーシュプロセス
  • ライトプロセス
太陽光パネル関連
  • プラズマCVD (PECVD)