真空プロセスのモニタリングと制御を容易に

プロセスエンジニアリングでは、真空プロセスにおける圧力の正確な制御は、効率の最適化と製品品質の向上に欠かせない重要なパラメーターです。Buschの真空計VACTESTは、最新の真空測定テクノロジーと、優れた製造品質を融合して開発されました。このシリーズは、革新的なアクティブ真空計やコントローラーで包括的に構成されています。これにより、あらゆるプロセスに対して適切な測定テクノロジーをお選びいただけるようになっています。

その特徴は堅牢性、信頼性と高い測定精度です。産業分野においても、研究においても、お使いの真空プロセスをモニタリングし、制御するための理想的な選択肢となります。これらの最新テクノロジーにより、1600～5 · 10-10 hPa（mba）という測定範囲を実現し、あらゆる真空レベルで正確な測定が可能となっています。すべてのセンサーがCEやRoHSなどの国際規格および規制に準拠しています。

VACTESTシリーズはさまざまなセンサーテクノロジーを採用することで、低真空から超高真空までの全領域をカバーしています。基本的に、圧力測定方法は直接測定と間接測定の大きく2つの方法に分けられます。直接測定原理では、プロセスガスに依存せず、分子の流れによってダイヤフラム膜に加えられる力に基づいて測定します。この方法は、低真空や中真空プロセスに使用されます。より高い真空レベルでは、熱伝導率やイオン化率といったプロセスガスの特殊な特性に基づく、間接的測定原理が用いられます。直接測定方法とは異なり、間接的測定方法はプロセスガスの種類に依存します。そのため、空気と窒素以外のプロセスガスの場合は、それぞれに専用の補正係数を適用する必要があります。

適切なセンサーを選ぶ際には、多くの要素を考慮する必要があります。最適な結果を得るためには、プロセスと周囲環境のほか、圧力範囲、精度の要件、ガス組成が重要な役割を果たします。BuschのVACTESTは、精度、測定範囲、機能など、お使いの真空システムまたはプロセスにおける要件を、3つの製品ラインで満たします。

VACTESTデジタルトランスミッターは、標準ですべての機能を備えたハイエンドのゲージです。インテリジェントなマイクロコントローラーアーキテクチャにより、センサー制御の最適化だけでなく、多様な設定オプションが可能となり、さまざまなアプリケーションで理想的なソリューションとしてお使いいただけます。VACTESTデジタルトランスミッターは、ピラニセンサーテクノロジー、あるいはピラニ/冷陰極またはピラニ/熱陰極テクノロジーの組み合わせに基づいて動作します。

VACTESTアナログトランスミッターはコンパクトで堅牢、かつ機能的な設計が特徴です。測定の精度と安定性に優れたこれらのトランスミッターは、集中監視および制御システムに最適です。

VACTESTモバイルゲージは、真空のプロセスおよびメンテナンスの精度検査に最適な携帯型ソリューションです。このバッテリー駆動ゲージには、データのエクスポートおよび表示のためのUSBインターフェースやデータロギングなどのさまざまな機能が搭載されています。また、真空下でも使用することができます。例えば、これらのゲージを真空包装の中に密閉し、包装内の圧力を測定することも可能です。

この製品シリーズの最後を飾るのが、複数の真空計を同時に運用するためのコンパクトな制御ユニット、VACTESTアクティブセンサーコントローラーです。卓上で、あるいはラックマウント方式でご利用いただけます。各トランスミッターの制御は、直感的な操作を可能にするナビゲーションメニューから行います。各種パラメーター、例えばガス種補正係数、圧力単位、セットポイントなどは、簡単に調整できます。

真空計に加え、VACTESTビューワーもご利用いただけます。これは、Android OS搭載モバイルデバイス用の無料のBluetooth監視アプリケーションです。最大16個までセンサーを接続し、圧力値を表示することができます。これは、ソフトウェアとセンサー間のBluetoothのデータ交換用に設計されており、メンテナンスやキャリブレーションに最適なツールです。最大圧力、最小圧力に達したことを視覚および音声で知らせるアラームを設定することができます。