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最良のソリューションを実現

RANGU DF 1000 - 2800 A

拡散ポンプRanguは、Buschの新しい 製品ラインナップです。 ロールtoロー ルのコーティングから真空炉に至るま で、多種多様な産業で使用されてい ます。 これらの産業分野では、堅牢で 信頼性が高く、製造工程で使いやす い真空ポンプが求められます。Busch ではランニングコストを重視しつつ、 生産量の拡大、運転条件の変化への 適応、メンテナンスの簡易性を実現し た革新的な真空ソリューションを提供 し続けることにより、稼働率を極限ま で向上させます。Buschの拡散ポンプ Ranguは、過酷な産業用途に耐えるよ う設計されており、大容量のガスを排 気することが可能です。 Ranguシリー ズは、革新的な多段噴射設計のため、 厳しいフロー条件においても稼働が 安定しています。また、業界トップレベ ルのオイル逆流防止技術で、プロセス 汚染を防止します。Buschは、拡散ポン プおよび真空システムを、幅広い産業 用途向けに提供しています。

用途

  • ガラスコーティング装置(建築用ガラ ス、自動車用ガラス、フラットパネル ディスプレイ基板)
  • 材料の表面処理および摩耗コーティ ングの塗布
  • 機能的、装飾的なコーティング(メタ ライゼーションを含む)
  • 光学コーティング(眼科、精密光エレ クトロニクス)
  • フィルムまたはフォイル上のロール コーティングまたはウェブコーティ ング
  • PVDおよび高いガス負荷を必要とす るその他のプラズマ処理システム
  • 真空炉 / 真空ろう付け
  • 電子ビーム溶接

Rangu – 条件の厳しいプロセス向けの高真空

Rangu – 条件の厳しいプロセス向けの高真空

お問い合わせ
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4000 連絡先

技術仕様

技術仕様
Rangu拡散ポンプは、中央の多段ジェ ットに接続されているオイルボイラー で構成されています。 加熱された油が 多段ジェットから超音速で排出され、 その噴射流に取り込まれた気体分子 は、重いオイル分子の推進力によって ポンプ内部を移動します。 この一連の 動きで、気体分子は低圧の吸気フラン ジから、フォアライン真空ポートへと 移送され、ここでオイルが凝縮してボ イラーに戻り、気体分子はバックポン プに吸引されます。 Rangu拡散ポンプ は革新的な多段噴射式設計により、稼 働が極めて安定しています。 当ポンプ は特に、チャンバーを真空排気する際 に通常発生する高い背圧と、オイル逆 流のリスクに耐える設計になっていま す。Rangu拡散ポンプは、堅牢で耐用 年数の長いヒーター設計を採用し、変 化に富んだ運転条件においても、安定 した信頼性の高いパフォーマンスを お約束します。

外形図 RANGU DF 1000 - 2800 A
RANGU DF 1000 - 2800 A
排気速度

20℃ N2の場合。誤差:± 10%

50 Hz 60 Hz
排気速度
テクニカルデータ RANGU DF 1000 A RANGU DF 1700 A RANGU DF 2800 A
排気速度(N2) 10000 l/s 17300 l/s 28000 l/s
到達真空度 < 7·10-8* hPa (mbar) < 7·10-8 hPa (mbar)* < 7·10-8* hPa (mbar)
推奨フォアポンプ 170 m³/h 510 m³/h 510 m³/h
電力 12 kW 24 kW 24 kW
必要な冷却水温度 15 - 26 °C 15 - 26 °C 15 - 26 °C
ウォームアップ時間 45 minutes 60 minutes 60 minutes
冷却水消費量 300 l/h 800 l/h 800 l/h
オイル容量 4.7 l 11.3 l 11.3 l
最大背圧(N2) 0.85 hPa (mbar) 0.65 hPa (mbar) 0.71 hPa (mbar)
質量 264 kg 612 kg 680 kg
寸法 (W x H x Ø) 1030 x 1219 x 630 mm 1173 x 1740 x 800 mm 1673 x 1832 x 1000 mm
接続フランジ アウトレット/インレット DN 630 ISO-K / DN 160 ISO-K DN 800 ISO-K / DN 200 ISO-K DN 1000 ISO-K / DN 200 ISO-K
* 推奨フォアポンプ使用時

技術仕様

技術仕様
Rangu拡散ポンプは、中央の多段ジェ ットに接続されているオイルボイラー で構成されています。 加熱された油が 多段ジェットから超音速で排出され、 その噴射流に取り込まれた気体分子 は、重いオイル分子の推進力によって ポンプ内部を移動します。 この一連の 動きで、気体分子は低圧の吸気フラン ジから、フォアライン真空ポートへと 移送され、ここでオイルが凝縮してボ イラーに戻り、気体分子はバックポン プに吸引されます。 Rangu拡散ポンプ は革新的な多段噴射式設計により、稼 働が極めて安定しています。 当ポンプ は特に、チャンバーを真空排気する際 に通常発生する高い背圧と、オイル逆 流のリスクに耐える設計になっていま す。Rangu拡散ポンプは、堅牢で耐用 年数の長いヒーター設計を採用し、変 化に富んだ運転条件においても、安定 した信頼性の高いパフォーマンスを お約束します。

外形図
RANGU DF 1000 - 2800 A
RANGU DF 1000 - 2800 A
排気速度

20℃ N2の場合。誤差:± 10%

50 Hz
60 Hz
排気速度
テクニカルデータ RANGU DF 1000 A RANGU DF 1700 A RANGU DF 2800 A
排気速度(N2) 10000 l/s 17300 l/s 28000 l/s
到達真空度 < 7·10-8* hPa (mbar) < 7·10-8 hPa (mbar)* < 7·10-8* hPa (mbar)
推奨フォアポンプ 170 m³/h 510 m³/h 510 m³/h
電力 12 kW 24 kW 24 kW
必要な冷却水温度 15 - 26 °C 15 - 26 °C 15 - 26 °C
ウォームアップ時間 45 minutes 60 minutes 60 minutes
冷却水消費量 300 l/h 800 l/h 800 l/h
オイル容量 4.7 l 11.3 l 11.3 l
最大背圧(N2) 0.85 hPa (mbar) 0.65 hPa (mbar) 0.71 hPa (mbar)
質量 264 kg 612 kg 680 kg
寸法 (W x H x Ø) 1030 x 1219 x 630 mm 1173 x 1740 x 800 mm 1673 x 1832 x 1000 mm
接続フランジ アウトレット/インレット DN 630 ISO-K / DN 160 ISO-K DN 800 ISO-K / DN 200 ISO-K DN 1000 ISO-K / DN 200 ISO-K
* 推奨フォアポンプ使用時

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