拡散ポンプRanguは、Buschの新しい 製品ラインナップです。 ロールtoロー ルのコーティングから真空炉に至るま で、多種多様な産業で使用されてい ます。 これらの産業分野では、堅牢で 信頼性が高く、製造工程で使いやす い真空ポンプが求められます。Busch ではランニングコストを重視しつつ、 生産量の拡大、運転条件の変化への 適応、メンテナンスの簡易性を実現し た革新的な真空ソリューションを提供 し続けることにより、稼働率を極限ま で向上させます。Buschの拡散ポンプ Ranguは、過酷な産業用途に耐えるよ う設計されており、大容量のガスを排 気することが可能です。 Ranguシリー ズは、革新的な多段噴射設計のため、 厳しいフロー条件においても稼働が 安定しています。また、業界トップレベ ルのオイル逆流防止技術で、プロセス 汚染を防止します。Buschは、拡散ポン プおよび真空システムを、幅広い産業 用途向けに提供しています。

用途

• ガラスコーティング装置（建築用ガラ ス、自動車用ガラス、フラットパネル ディスプレイ基板）
• 材料の表面処理および摩耗コーティ ングの塗布
• 機能的、装飾的なコーティング（メタ ライゼーションを含む)
• 光学コーティング（眼科、精密光エレ クトロニクス）
• フィルムまたはフォイル上のロール コーティングまたはウェブコーティ ング
• PVDおよび高いガス負荷を必要とす るその他のプラズマ処理システム
• 真空炉 / 真空ろう付け
• 電子ビーム溶接