EPIプロセスに適した湿式スクラバー方式のガス除害
高信頼性
要求の厳しいEPIプロセス向け特殊設計、強力なベンチュリーユニット、特許取得の吸気口目詰まり防止装置、除害装置前段の副生成物用前処理装置不要（トラップ）
最小限のメンテナンス
サービス間隔の長期化、優れたアップタイム、点検が容易、サービス作業は短時間で完了、分解不要
高効率性
湿式、低運用コスト、水再循環システム内蔵、カラータッチスクリーン付きPLCで操作が簡単
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