高信頼性
堅牢かつ実績に裏打ちされたR5真空ポンプの性能をさらに高めるユニットです。高信頼低メンテナンスのメカニカルブースターポンプPANDA/PUMAを組合せています。
高い性能
到達真空度でも高い排気速度、排気時間短縮、真空ポンプ単体と比較し優れたエネルギー効率
フレキシブル
各種設計オプション、選べるバックポンプとメカニカルブースターポンプの組み合わせ、小さな設置面積
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