Torri多段ルーツ真空ポンプは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。

到達真空度の低さとクラス最高のチャンバーの排気時間が特徴です。

 

動作原理

Torri BD真空ポンプは、定評のあるルーツ式原理によって動作します。

ローブの回転により吸引されたガスが捕捉され、ステージからステージへ運ばれ、最終的には排気口へ至ります。

ローターの特殊形状と精巧な作りにより、ローター同士、あるいはローターとハウジングが接触することはありません。
さらに、圧縮チャンバー内に潤滑剤や作動流体は不要です。

ローブは、直接取り付けられた同期している水冷式電気モーターによって駆動します。