ピエゾ抵抗センサー
堅牢でコスト効率に優れたピエゾ抵抗センサー技術は、ダイアフラム変位によるひずみゲージの抵抗の変化を測定します。この方法は汎用性が高く、低真空領域の絶対圧力測定に最適です。- 測定範囲:1600~1 hPa(mbar)
- 優れた測定精度
- 薬品耐性を持つセラミックセンサー
- 速い応答時間
- 高い信頼性
- 長期安定性
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真空レベルを制御することで、スムーズなプロセスと最高の製品品質が確保されます。
Busch VACTESTは、真空計の新たな基準を打ち立てます。最新の真空計測技術と、優れた製造品質を融合して開発されたこの製品は、革新的なアクティブ真空計やコントローラーで包括的に構成されています。
高機能
フルレンジの測定範囲(1600~5 · 10⁻¹⁰ hPa(mbar))、最先端のマイクロコントローラー技術
高信頼性
ハイスタンダード、堅牢な構造、耐衝撃性
高効率性
モジュラー設計、プラグアンドプレイのセンサーにより稼働時間を最大化
VACTESTは信頼性、耐久性、使い勝手に優れた真空計です。他の会社にもVACTESTをお勧めできます。
それぞれの真空レベルに適した測定原理
真空計は、アプリケーションにおける真空レベルを測定する機器です。これにより、プロセス全体を通して正しい真空レベルが確実に供給されるようになります。真空レベルをモニタリングすることで、スムーズなプロセスと最高の製品品質が確保されます。例えば、食品が適切に包装される、異なる素材の層が精密に貼り合わされる、などです。
その特徴は堅牢性、信頼性と高い測定精度です。産業分野においても、研究においても、お使いの真空プロセスをモニタリングし、制御するための理想的な選択肢となります。
ご使用のプロセスに適した測定原理の真空ゲージを選択する場合は、圧力範囲、必要な精度、ガス組成、プロセスおよび環境条件を把握しておくことが不可欠です。
適切なゲージの選択については、Buschにお問い合わせください。
測定原理 | 圧力範囲 | 精度 |
---|---|---|
ピエゾ抵抗 | 1600~1 hPa(mbar) | < 0.3% full scale |
静電容量式 | 200~0.1 hPa(mbar) | < 0.25% full scale |
ピラニ | 1000~1 · 10-4 hPa(mbar) | 1000~20 hPa(mbar):読み取り値から30% 20~2.0·10-3 hPa(mbar):読み取り値から10% |
冷陰極 | 2 · 10-3~5 · 10-9 hPa(mbar) | 読み取り値から < 25% |
熱陰極 | 3 · 10-3~5 · 10-10 hPa(mbar) | 読み取り値から<10% |
真空計は、プロセスにおける真空レベルを測定します。
圧力ゲージは、システムと大気圧の圧力差を測定する機器です。したがって、真空系は圧力ゲージの一種と考えることができます。
ただし、真空計以外の圧力ゲージは、主に大気圧以上の圧力を測定するために使用され、一方で、真空計は大気圧未満の圧力を測定することになります。
アナログゲージには5つの技術的特徴があります。
1.高性能:優れた機能を標準装備。
デジタルゲージには3つの技術的特徴があります。
1.最先端のテクノロジー:正確な測定結果。
モバイルゲージには4つの技術的特徴があります。
1.優れた精度:長期的測定可能。
真空計は毎年キャリブレーションする必要があります。
ゲージの再キャリブレーションが必要ですか?Buschキャリブレーションサービスの詳細をご覧いただくか、Buschにお問い合わせください。
アクティブセンサーコントローラーを利用すると、すべての測定値を一目で把握することができます。2台または4台の真空センサーを同時に操作するための、コンパクトな制御ユニットを2種ご用意しています。卓上またはラックマウントで利用できるこれらのコントローラーには、バックライト付きの大型LCDディスプレイ、複数のリレー接点、およびUSBとRS232の両方のインターフェースが搭載されています。CTR 002およびCTR 004は、直感的なナビゲーションによりセンサーのフル制御と設定が可能です。各種パラメーター、たとえばガス種補正係数、圧力単位、セットポイントなどを、簡単に調整できます。
ゲージの耐用年数を延ばし、測定精度を保証するためには、汚染からゲージを保護することが重要です。したがって、センサーと真空システムとの間に保護具を設置することを強く推奨します。Buschでは、お使いの測定機器を安全にお使いいただけるよう、バッフル、ワイヤーフィルターおよびらせん状チューブをご用意しています。
すべてのデジタルトランスミッター用に予備のセンサーヘッドを用意しています。プラグアンドプレイ機能により、キャリブレーションと設定のパラメーターが保持されるため、プロセスに影響を及ぼすことなく、迅速にセンサーを交換できます。
Buschは、迅速かつ効率的な方法でプロセスデータを視覚化し、分析し、比較するための不可欠なソフトウェアツールとしてVACTESTエクスプローラーを提供しています。VACTESTエクスプローラーには、LiteバージョンとProバージョンがあり、漏れ率の計算、アクティブセンサーコントローラーのリモート制御、排気曲線の比較、すべてのデジタルトランスミッターパラメーターの構成など、さまざまな機能が搭載されています。