定評あるテクノロジー、定評ある設計 -
最良のソリューションを実現

COBRA Semicon スクリュー真空ポンプ

到達真空度: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
設計排気速度 50 Hz: 70 - 7385 m³/h
設計排気速度 60 Hz: 85 - 7385 m³/h

COBRA セミコン向けドライスクリュー真空ポンプは、半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。

効率性と信頼性
高効率モーターを搭載したCOBRA セミコン用スクリュー真空ポンプは、省エネ性に優れた製品です。シンプルな設計と、定評のあるBuschスクリューの特性(オプションでルーツポンプと組み合わせることも可能)を併せ持つセミコン用COBRAは、非常に堅牢で信頼性の高い、しかも低保守な真空ポンプです。

用途に応じて
COBRAセミコン用スクリュー真空ポンプには、様々なサイズと仕様があり、各種用途・目的に対応することができます。コンパクトな構造のため、限られたスペースでも設置可能です。業界最大レベルの排気速度を誇り、高い処理能力(水素吸引の場合でも)と副生成物耐性を持ちます。

 


COBRA – 高排気量・高負荷対応のハイクラス真空ポンプ。

製品の詳細
下記までお問い合わせください (Busch 日本):
+81 (0)463 50 4020 連絡先

COBRA DS

業界標準、高気密

COBRA BA

高気密、フライングベアリングシステム、空冷

COBRA BC

高気密、フライングベアリングシステム、水冷

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