Busch真空ポンプ・真空システム

SEMICON Japan 2019

東京で開催されるSEMICON Japan 2019にご来場ください
半導体向け真空のエキスパートがお待ちしております

2019年12月11-13日 | 東京ビッグサイト
西４ホール、ブース番号6477

新世代 R 5
ロータリーベーン真空ポンプ

新 R 5 RD シリーズ–ショット数の多い包装用途に最適化
され、最大20%の省エネ化。

TORRI BD
ロードロック向けでクラス最高性能

これからの業界標準となる多段ルーツ真空ポンプをご覧ください