半導体の製造に使われる真空

Buschの真空ポンプは、業界をリードする半導体工場で採用され、その信頼性が高く評価されています。これは、長年にわたり、半導体業界のパートナーのニーズとプロセス要件に耳を傾けてきた結果です。

お客様のプロセス要件に最適なソリューションをご提案いたします。

半導体産業向けサービス

ARPQP
Buschの新しい真空ポンプ再生サービス。特に半導体およびフラットパネル市場向け。
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サブファブの包括管理
半導体工場の生産環境に安全、安定もたらす包括的なオンサイトサービスソリューション。
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Semiconductor service locations
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半導体製造向け当社のソリューション

Buschの真空ソリューションは、半導体産業のあらゆるアプリケーションに対応する信頼性の高い選択肢です。高信頼性、低所有コスト、高性能な通信機能が必須の産業はお任せください。ロードロックチャンバーから、ナノ粒子合成のような過酷なプロセスまで対応可能です。当社は世界各地の半導体リーディングカンパニーに真空システムを提供しています。また、採用いただいたお客様には設備のオンサイトサービスも一括してお任せいただけます。

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
ライトプロセス（ロードロックおよびトランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー）	✓	✓	✓	✓
ミディアムプロセス（PVDプロセス、PVDプリクリーン、RTA、ストリップ/アッシング、酸化エッチング、シリコンエッチング）	✓		✓	✓
ハーシュプロセス（金属エッチング、イオン注入、HDP、CVD、RTP、エピタキシー、SA CVD、MO CVD、PE CVD、LP CVD、ALD）	✓		✓	✓