Uppdatera din webbläsare.

Det verkar som du använder en gammal version av Microsoft Edge webbläsare. För att få den bästa upplevelsen av Busch webbplats bör du uppdatera din webbläsare.

  • cobra_bc_1200_a

COBRA BC 0601–1200 A/G

Torra skruvvakuumpumpar

den perfekta lösningen för lätta till medelsvåra halvledartillämpningar

Hög kapacitet

Avancerad skruvteknik, klockformat hus, patentskyddade självbalanserande skruvar, perfekta driftkvaliteter, integrerad vakuumbooster, perfekt lämpad för kall atomlagerdeponering, ”load lock” och transportkammare, metrologi, litografi, PVD-beläggning, snabb termisk glödgning och etsningsprocesser som oxid, kisel och metall

Effektiv

Låg ägandekostnad, minimalt underhåll, långa serviceintervall, hög tillgänglighet, direkt vattenkylning

Kompakt

Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, förpump och vakuumbooster på en kompakt ram

Tekniska specifikationer

Marknader och tillämpningar

Biogashantering
  • Uppgradering - tryckväxlingsadsorption
Produktion av halvledare
  • Medel
Solkraftsindustri
  • Fysisk ångdeposition (PVD)