COBRA BC 0601–1200 A/G
Torra skruvvakuumpumpar
den perfekta lösningen för lätta till medelsvåra halvledartillämpningar
Hög kapacitet
Avancerad skruvteknik, klockformat hus, patentskyddade självbalanserande skruvar, perfekta driftkvaliteter, integrerad vakuumbooster, perfekt lämpad för kall atomlagerdeponering, ”load lock” och transportkammare, metrologi, litografi, PVD-beläggning, snabb termisk glödgning och etsningsprocesser som oxid, kisel och metall
Effektiv
Låg ägandekostnad, minimalt underhåll, långa serviceintervall, hög tillgänglighet, direkt vattenkylning
Kompakt
Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, förpump och vakuumbooster på en kompakt ram
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
Biogashantering
-
Uppgradering - tryckväxlingsadsorption
Produktion av halvledare
-
Medel
Solkraftsindustri
-
Fysisk ångdeposition (PVD)