Driftsprincip
Den grundläggande komponenten i diffusionsvakuumpumpar är en cylindrisk pumpenhet med uppvärmbar botten. Olja används som vätska och värms upp. Ångan från oljan stiger upp i munstyckssystemet. Den leds därefter genom flera ångstrålesteg och ut ur systemet vid högt tryck.
Molekylerna i processgasen fångas upp av de här ångstrålarna och leds nedåt mot förpumpens utlopp. Oljeångan kondenserar på innerytan av den vattenkylda pumpenheten och leds tillbaka ner mot botten.