Uppdatera din webbläsare.

Det verkar som du använder en gammal version av Microsoft Edge webbläsare. För att få den bästa upplevelsen av Busch webbplats bör du uppdatera din webbläsare.

Gasreduceringssystem

Vår lösning: GABA

gaba_awe_050_ae

Halvledarindustrin använder gaser som är giftiga, brandfarliga och skadliga för både människor och miljö. Till exempel vid tillverkning av mikrochip. Enligt nationell lagstiftning måste de här gaserna reduceras. Detta innebär att de sänks till respektive tröskelgränsvärden (TLV).

Olika gaser kräver olika behandlingstekniker, t.ex. termisk, vätning eller en kombination av båda tekniker. Processutblåsgaserna kan därefter släppas ut i atmosfären. Utan risker för naturen. För en grönare värld.

Driftsprincipen

Flamlös katalys
Det här katalysatorsystemet kombinerar ett flamlöst, katalytiskt system med termisk oxidation och våtbehandlingsteknik för att reducera antändlig, vattenlöslig gas och NF₃. Pulver och vattenlöslig gas som kan genereras vid termisk oxidation fångas upp i en flerstegs våtzon uppströms.

Termisk våt
Elektrisk värme- och våtbehandlingsteknik kombineras i ett system för att reducera hybridbaserad gas som t.ex. NH₃, SiH₄ men även NF₃. I brännkammaren förändras den kemiska sammansättningen av antändliga och pyroforiska processgaser med termisk oxidation. Vattenlöslig gas löses upp i våtkammaren uppströms.

Våtskrubbning
I fyra individuella reaktionskammare sprayas utblåsgasflödet, särskilt från epitaxiprocesser, med vatten. Biprodukter i form av fasta partiklar fångas in i vattendroppar och löses upp. En absorber separerar sedan vattnet från utblåsgasflödet.

GABA AWE

gaba_awe_050_ae
Gasreducering med våtskrubber för EPI-processer

  • Innovativ våtskrubbsteknologi
  • För kritiska EPI-processer inom halvledarindustrin
  • Patenterat igensättningshinder vid inloppet
  • Långa serviceintervall
  • Ingen fälla behövs för att samla biprodukter
  • Frekvensstyrd venturienhet
  • Fyra processinlopp för anslutning till fyra olika kammare

Fördelar med GABA AWE-serien

GABA AWE är våra innovativa våtskrubbers, särskilt utvecklade för kritiska EPI-processer inom halvledarindustrin. Kombinerar maximal driftsäkerhet med den högsta nivån av processtabilitet.

Vår AWE-serie är utrustad med ett patenterat kvävgasinlopp som förhindrar igensättning av skrubberinloppet. Detta ger längre livslängd och samtidigt låga driftskostnader. Underhållet reduceras till byte av inloppets igensättningshinder vid definierade serviceintervall. Detta utförs enkelt utan att enheten behöver monteras ned.

Specialutförandet hos GABA AWE gör separeringen av biprodukter från produktionsprocessen i en fälla överflödigt. Våtskrubben kan hantera alla processrester utan att det blockerar gasinloppet. Vattenlösliga biprodukter reagerar i skrubbvätskan, fasta ämnen separeras som partiklar eller pumpas bort med avloppsvattnet under processen.

Vakuum för produktionsprocessen tillhandahålls aktivt reglerat via en frekvensstyrd venturienhet. Detta garanterar konstant processtryck på produktionsanläggningen och problemfri drift. Alla processinställningar kan utföras via ett programmerbart styrsystem (PLC) med färgdisplay och pekskärm.

Alla GABA AWE-produkter

GABA AFC

gaba_afc_050_a
Effektiv gasreducering med flamlöst katalytiskt system

  • Kombination av flamfri katalytisk och termisk våt gasreduceringsteknik
  • Behandling av antändliga och lösliga gaser
  • Utmärkt reduceringseffektivitet
  • Elektrisk värmare för höga temperaturer
  • Komplett utbytbart system
  • Fyra processinlopp för anslutning till fyra olika kammare

Fördelar med GABA AFC-serien

GABA AFC gasreduceringssystem är utvecklade för att reducera eller eliminera farliga gaser och luftföroreningar under tillverkningsprocesser, högtemperatursvärmare för perfekt flamfri förbränning. De ändrar helt enkelt gasernas kemiska sammansättning. Genom användning av flamfri katalytisk termisk oxidation och termisk våt gasreduceringsteknik blir det möjligt att behandla både antändliga och lösningsbara gaser.

GABA AFC använder en värmare för höga temperaturer med uppvärmda katalysatorer. Detta ger perfekt flamfri förbränning. För att öka borttagningseffektiviteten av målgaserna är det centralt att temperaturen är korrekt och att rätt driftvätskor används. Värmesystemet ger stabil behandling och producerar betydligt färre biprodukter (dvs. NOx, CO2, etc.). Vattenlösliga gaser, biprodukter och varma gaser från reaktorkammaren behandlas sedan i våtkammaren.

För att undvika kontaminering i samband med underhåll har GABA AFC konstruerats som komplett utbytbara system. Alla moduler kan bytas ut separat utan att kammaren behöver öppnas.

AFC-seriens gasreduceringssystem har fyra processinlopp som standard. Systemet kan alltså anslutas till fyra olika kammare för ett processverktyg eller till flera verktyg, beroende på applikationen.

Alla GABA AFC-produkter