Gasreduceringssystem
Vår lösning: GABA
Halvledarindustrin använder gaser som är giftiga, brandfarliga och skadliga för både människor och miljö. Till exempel vid tillverkning av mikrochip. Enligt nationell lagstiftning måste de här gaserna reduceras. Detta innebär att de sänks till respektive tröskelgränsvärden (TLV).
Olika gaser kräver olika behandlingstekniker, t.ex. termisk, vätning eller en kombination av båda tekniker. Processutblåsgaserna kan därefter släppas ut i atmosfären. Utan risker för naturen. För en grönare värld.
GABA AWE
- Innovativ våtskrubbsteknologi
- För kritiska EPI-processer inom halvledarindustrin
- Patenterat igensättningshinder vid inloppet
- Långa serviceintervall
- Ingen fälla behövs för att samla biprodukter
- Frekvensstyrd venturienhet
- Fyra processinlopp för anslutning till fyra olika kammare
Fördelar med GABA AWE-serien
GABA AWE är våra innovativa våtskrubbers, särskilt utvecklade för kritiska EPI-processer inom halvledarindustrin. Kombinerar maximal driftsäkerhet med den högsta nivån av processtabilitet.
Vår AWE-serie är utrustad med ett patenterat kvävgasinlopp som förhindrar igensättning av skrubberinloppet. Detta ger längre livslängd och samtidigt låga driftskostnader. Underhållet reduceras till byte av inloppets igensättningshinder vid definierade serviceintervall. Detta utförs enkelt utan att enheten behöver monteras ned.
Specialutförandet hos GABA AWE gör separeringen av biprodukter från produktionsprocessen i en fälla överflödigt. Våtskrubben kan hantera alla processrester utan att det blockerar gasinloppet. Vattenlösliga biprodukter reagerar i skrubbvätskan, fasta ämnen separeras som partiklar eller pumpas bort med avloppsvattnet under processen.
Vakuum för produktionsprocessen tillhandahålls aktivt reglerat via en frekvensstyrd venturienhet. Detta garanterar konstant processtryck på produktionsanläggningen och problemfri drift. Alla processinställningar kan utföras via ett programmerbart styrsystem (PLC) med färgdisplay och pekskärm.
Frågor och svar
Vad är ett gasreduceringssystem?
Gasreduceringssystemet avgiftar farliga gaser och luftföroreningar under tillverkningsprocesserna. Denna process är nödvändig för att de ska kunna släppas ut i atmosfären på ett säkert sätt. Olika gaser kräver olika behandlingstekniker, t.ex. termisk, vätning eller en kombination av båda teknikerna.
Vad är gasreducering?
Gasreducering är den process genom vilken den kemiska sammansättningen av skadliga gaser och luftföroreningar förändras. Detta är nödvändigt för att de ska kunna släppas ut i atmosfären utan att skada djur eller människor.
Driftsprincipen
Flamlös katalys
Det här katalysatorsystemet kombinerar ett flamlöst, katalytiskt system med termisk oxidation och våtbehandlingsteknik för att reducera antändlig, vattenlöslig gas och NF₃. Pulver och vattenlöslig gas som kan genereras vid termisk oxidation fångas upp i en flerstegs våtzon uppströms.
Termisk våt
Elektrisk värme- och våtbehandlingsteknik kombineras i ett system för att reducera hybridbaserad gas som t.ex. NH₃, SiH₄ men även NF₃. I brännkammaren förändras den kemiska sammansättningen av antändliga och pyroforiska processgaser med termisk oxidation. Vattenlöslig gas löses upp i våtkammaren uppströms.
Våtskrubbning
I fyra individuella reaktionskammare sprayas utblåsgasflödet, särskilt från epitaxiprocesser, med vatten. Biprodukter i form av fasta partiklar fångas in i vattendroppar och löses upp. En absorber separerar sedan vattnet från utblåsgasflödet.