Gasreduceringssystem

GABA AWE är våra innovativa våtskrubbers, särskilt utvecklade för kritiska EPI-processer inom halvledarindustrin. Kombinerar maximal driftsäkerhet med den högsta nivån av processtabilitet.

Vår AWE-serie är utrustad med ett patenterat kvävgasinlopp som förhindrar igensättning av skrubberinloppet. Detta ger längre livslängd och samtidigt låga driftskostnader. Underhållet reduceras till byte av inloppets igensättningshinder vid definierade serviceintervall. Detta utförs enkelt utan att enheten behöver monteras ned.

Specialutförandet hos GABA AWE gör separeringen av biprodukter från produktionsprocessen i en fälla överflödigt. Våtskrubben kan hantera alla processrester utan att det blockerar gasinloppet. Vattenlösliga biprodukter reagerar i skrubbvätskan, fasta ämnen separeras som partiklar eller pumpas bort med avloppsvattnet under processen.

Vakuum för produktionsprocessen tillhandahålls aktivt reglerat via en frekvensstyrd venturienhet. Detta garanterar konstant processtryck på produktionsanläggningen och problemfri drift. Alla processinställningar kan utföras via ett programmerbart styrsystem (PLC) med färgdisplay och pekskärm.

GABA AFC gasreduceringssystem är utvecklade för att reducera eller eliminera farliga gaser och luftföroreningar under tillverkningsprocesser, högtemperatursvärmare för perfekt flamfri förbränning. De ändrar helt enkelt gasernas kemiska sammansättning. Genom användning av flamfri katalytisk termisk oxidation och termisk våt gasreduceringsteknik blir det möjligt att behandla både antändliga och lösningsbara gaser.

GABA AFC använder en värmare för höga temperaturer med uppvärmda katalysatorer. Detta ger perfekt flamfri förbränning. För att öka borttagningseffektiviteten av målgaserna är det centralt att temperaturen är korrekt och att rätt driftvätskor används. Värmesystemet ger stabil behandling och producerar betydligt färre biprodukter (dvs. NO_x, CO₂, etc.). Vattenlösliga gaser, biprodukter och varma gaser från reaktorkammaren behandlas sedan i våtkammaren.

För att undvika kontaminering i samband med underhåll har GABA AFC konstruerats som komplett utbytbara system. Alla moduler kan bytas ut separat utan att kammaren behöver öppnas.

AFC-seriens gasreduceringssystem har fyra processinlopp som standard. Systemet kan alltså anslutas till fyra olika kammare för ett processverktyg eller till flera verktyg, beroende på applikationen.

Gasreduceringssystemet avgiftar farliga gaser och luftföroreningar under tillverkningsprocesserna. Denna process är nödvändig för att de ska kunna släppas ut i atmosfären på ett säkert sätt. Olika gaser kräver olika behandlingstekniker, t.ex. termisk, vätning eller en kombination av båda teknikerna.

Gasreducering är den process genom vilken den kemiska sammansättningen av skadliga gaser och luftföroreningar förändras. Detta är nödvändigt för att de ska kunna släppas ut i atmosfären utan att skada djur eller människor.

Flamlös katalys
Det här katalysatorsystemet kombinerar ett flamlöst, katalytiskt system med termisk oxidation och våtbehandlingsteknik för att reducera antändlig, vattenlöslig gas och NF₃. Pulver och vattenlöslig gas som kan genereras vid termisk oxidation fångas upp i en flerstegs våtzon uppströms.

Termisk våt
Elektrisk värme- och våtbehandlingsteknik kombineras i ett system för att reducera hybridbaserad gas som t.ex. NH₃, SiH₄ men även NF₃. I brännkammaren förändras den kemiska sammansättningen av antändliga och pyroforiska processgaser med termisk oxidation. Vattenlöslig gas löses upp i våtkammaren uppströms.

Våtskrubbning
I fyra individuella reaktionskammare sprayas utblåsgasflödet, särskilt från epitaxiprocesser, med vatten. Biprodukter i form av fasta partiklar fångas in i vattendroppar och löses upp. En absorber separerar sedan vattnet från utblåsgasflödet.