Uppdatera din webbläsare.

Det verkar som du använder en gammal version av Microsoft Edge webbläsare. För att få den bästa upplevelsen av Busch webbplats bör du uppdatera din webbläsare.

COBRA Semicon

Torrgående skruvvakuumpumpar

cobra_bc_1000_f

COBRA Semicon torrgående skruvvakuumpumpar är det perfekta valet för alla krävande processer vid produktion av fotovoltaiska celler, platta bildskärmar, halvledare och i ett flertal individuella beläggningstillämpningar.

Driftsprincipen för COBRA Semicon är baserad på vår toppmoderna skruvteknik. Med de patentskyddade självbalanserande skruvarna skapar de en ny standard i fråga om effektivitet.

COBRA Semicon kombinerar stor kapacitet med hög ång- och partikeltolerans. Partikelladdade media kan därför evakueras utan problem.

Den olje- och beröringsfria driftsprincipen säkerställer låga underhållskrav, låga driftskostnader och en lång livscykel.

De kompakta måtten för COBRA Semicon gör installationen enkel – till och med i begränsade utrymmen.

Driftsprincip

I COBRA Semicon torrgående skruvvakuumpumpar roterar två skruvrotorer i motsatta riktningar. Det pumpade mediet fångas in mellan cylindern och skruvkamrarna. Där komprimeras det och transporteras till utloppet. Under den här processen vidrör inte rotorerna varandra eller cylindern.

Upptäck vår COBRA Semicon-serie

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
Luftkyld plug&pump-lösning

  • Avancerad skruvteknik
  • Torr och beröringsfri driftsprincip
  • Unik design med ”flytande upphängning”
  • Kantileverkonstruktion
  • Kompakt design
  • Effektiv luftkylning
  • Frekvensomvandlare som tillval

Fördelar med COBRA BA-serien

COBRA BA är beprövade torrgående skruvvakuumpumpar perfekt lämpade för krävande processer som tillämpningar inom sterilisering, metallurgi, gasåtervinning eller smältugnar.

Den patenterade tekniken med självbalanserande skruvar ger låga vibrationsnivåer och en tyst drift.

COBRA BA vakuumpumpar har en klockformad kantileverkonstruktion och dubbelrotorn med skruvar för variabel stigning är monterad endast på motorsidan. Tack vare den unika designen med ”flytande upphängning” elimineras behovet av inloppskullager. Det pumpade mediet kommer därför aldrig i kontakt med kullagren. Detta säkerställer genereringen av rent vakuum och att det pumpade mediet kan återvinnas helt.

COBRA BA vakuumpumpar kännetecknas av en effektiv luftkylning.

En direktmonterad kapslad motor ger COBRA BA-serien mycket kompakta mått.

Alla COBRA BA-produkter

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Sluttryck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    85 m³/h

    Ta reda på mer

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
Den perfekta lösningen för lätta till medelsvåra halvledarapplikationer

  • Avancerad skruvteknik
  • Torr och beröringsfri driftsprincip
  • Unik design med ”flytande upphängning”
  • Kantileverkonstruktion
  • Kompakt, platsbesparande design
  • Direkt vattenkylning
  • Helt öppet kommunikationsprotokoll

Video: Hur här fungerar COBRA BC-vakuumpumpar

thumbnail_cobra_bc_series

The marketing-cookies have to be accepted to watch this video.

Accept marketing-cookies

Fördelar med COBRA BC-serien

COBRA BC vakuumpumpar lämpar sig perfekt för uppgifter inom load lock- och transportkamrar. Andra tillämpningar är metrologi, litografi, PVD-beläggning, snabbglödgning och kiseletsning.

Den patenterade tekniken med självbalanserande skruvar ger låga vibrationsnivåer och en tyst drift.

Skruvarna i COBRA BC vakuumpumparna är gjutna i ett stycke för att undvika mellanrum. På så sätt kan inte processvätskor eller partiklar tränga in. Därigenom förhindras korrosion och avlagringar.

COBRA BC vakuumpumpar har en klockformad kantileverkonstruktion och dubbelrotorn med skruvar för variabel stigning är monterad endast på motorsidan. Tack vare den unika designen med ”flytande upphängning” elimineras behovet av inloppskullager. Det pumpade mediet kommer därför aldrig i kontakt med kullagren. Detta säkerställer genereringen av rent vakuum och att det pumpade mediet kan återvinnas helt.

COBRA BC-seriens vakuumpumpar har en effektiv direkt vattenkylning. Temperaturfördelningen blir på så sätt jämn i hela pumphuset. Dessutom säkerställs den termiska stabiliteten under processen.

Med det helt öppna kommunikationsprotokollet (Modbus TCP-IP) kan alla funktioner styras. Detta omfattar tomgångslägen och drift med variabel hastighet. Kommunikationsprotokollet kan enkelt anpassas till ett specifikt nätverksprotokoll med hjälp av gränssnittskomponenter av standardtyp.

En direktmonterad kapslad motor ger COBRA BC-serien extra kompakta mått. På grund av den platsbesparande designen kan de enkelt och snabbt monteras i befintliga system i efterhand.

Alla COBRA BC-produkter

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Sluttryck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Sluttryck:
    0,005 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Sluttryck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    100 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Sluttryck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    520 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Sluttryck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    530 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Sluttryck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Sluttryck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Sluttryck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    955 m³/h

    Ta reda på mer

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
Den nya generationen torrgående vakuumpumpar för krävande processer

  • Avancerad skruvteknik
  • Torr och beröringsfri driftsprincip
  • Goda pulverhanteringsegenskaper
  • Effektiv indirekt vattenkylning
  • Kompakt, platsbesparande design
  • Hög kapacitet för utblåsning av kväve
  • Högeffektiv motor
  • Olika storlekar med integrerad vakuumbooster

Fördelar med COBRA DS-serien

COBRA DS torrgående skruvvakuumpumpar är de perfekta vakuumgeneratorerna för krävande processer. Även vid omständigheter som kräver högt vätgasgenomströmning. De är därför perfekt lämpade för kemisk förångningsdeposition, snabb termisk bearbetning eller atomlagerdeposition.

De olika storlekarna i COBRA DS-serien har en integrerad vakuumbooster med hög prestanda. Denna kombination av förpump och vakuumbooster gör det möjligt att nå högre kapacitet och sluttryck.

Den patentskyddade självbalanserande skruvtekniken säkerställer enastående pulverhantering och hög tillgänglighet.

Skruvarna i COBRA DS vakuumpumpar är gjutna i ett stycke för att undvika mellanrum. På så sätt kan inte processvätskor eller partiklar tränga in. Därigenom förhindras korrosion och avlagringar.

COBRA DS-seriens vakuumpumpar har en effektiv, indirekt vattenkylning. Som ett resultat kan temperaturfördelningen i hela pumphuset regleras. De kan svara på processvariationer när som helst.

På grund av den platsbesparande designen kan COBRA DS enkelt och snabbt monteras i befintliga system i efterhand.

Alla COBRA DS-produkter

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Sluttryck:
    0,03 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Sluttryck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    600 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Sluttryck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Sluttryck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Ta reda på mer
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Sluttryck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominell kapacitet:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Ta reda på mer