COBRA Semicon
Torrgående skruvvakuumpumpar
COBRA Semicon torrgående skruvvakuumpumpar är det perfekta valet för alla krävande processer vid produktion av fotovoltaiska celler, platta bildskärmar, halvledare och i ett flertal individuella beläggningstillämpningar.
Driftsprincipen för COBRA Semicon är baserad på vår toppmoderna skruvteknik. Med de patentskyddade självbalanserande skruvarna skapar de en ny standard i fråga om effektivitet.
COBRA Semicon kombinerar stor kapacitet med hög ång- och partikeltolerans. Partikelladdade media kan därför evakueras utan problem.
Den olje- och beröringsfria driftsprincipen säkerställer låga underhållskrav, låga driftskostnader och en lång livscykel.
De kompakta måtten för COBRA Semicon gör installationen enkel – till och med i begränsade utrymmen.
Driftsprincip
I COBRA Semicon torrgående skruvvakuumpumpar roterar två skruvrotorer i motsatta riktningar. Det pumpade mediet fångas in mellan cylindern och skruvkamrarna. Där komprimeras det och transporteras till utloppet. Under den här processen vidrör inte rotorerna varandra eller cylindern.COBRA BA
- Avancerad skruvteknik
- Torr och beröringsfri driftsprincip
- Unik design med ”flytande upphängning”
- Kantileverkonstruktion
- Kompakt design
- Effektiv luftkylning
- Frekvensomvandlare som tillval
Fördelar med COBRA BA-serien
COBRA BA är beprövade torrgående skruvvakuumpumpar perfekt lämpade för krävande processer som tillämpningar inom sterilisering, metallurgi, gasåtervinning eller smältugnar.
Den patenterade tekniken med självbalanserande skruvar ger låga vibrationsnivåer och en tyst drift.
COBRA BA vakuumpumpar har en klockformad kantileverkonstruktion och dubbelrotorn med skruvar för variabel stigning är monterad endast på motorsidan. Tack vare den unika designen med ”flytande upphängning” elimineras behovet av inloppskullager. Det pumpade mediet kommer därför aldrig i kontakt med kullagren. Detta säkerställer genereringen av rent vakuum och att det pumpade mediet kan återvinnas helt.
COBRA BA vakuumpumpar kännetecknas av en effektiv luftkylning.
En direktmonterad kapslad motor ger COBRA BA-serien mycket kompakta mått.
Alla COBRA BA-produkter
COBRA BC
- Avancerad skruvteknik
- Torr och beröringsfri driftsprincip
- Unik design med ”flytande upphängning”
- Kantileverkonstruktion
- Kompakt, platsbesparande design
- Direkt vattenkylning
- Helt öppet kommunikationsprotokoll
Video: Hur här fungerar COBRA BC-vakuumpumpar
Fördelar med COBRA BC-serien
COBRA BC vakuumpumpar lämpar sig perfekt för uppgifter inom load lock- och transportkamrar. Andra tillämpningar är metrologi, litografi, PVD-beläggning, snabbglödgning och kiseletsning.
Den patenterade tekniken med självbalanserande skruvar ger låga vibrationsnivåer och en tyst drift.
Skruvarna i COBRA BC vakuumpumparna är gjutna i ett stycke för att undvika mellanrum. På så sätt kan inte processvätskor eller partiklar tränga in. Därigenom förhindras korrosion och avlagringar.
COBRA BC vakuumpumpar har en klockformad kantileverkonstruktion och dubbelrotorn med skruvar för variabel stigning är monterad endast på motorsidan. Tack vare den unika designen med ”flytande upphängning” elimineras behovet av inloppskullager. Det pumpade mediet kommer därför aldrig i kontakt med kullagren. Detta säkerställer genereringen av rent vakuum och att det pumpade mediet kan återvinnas helt.
COBRA BC-seriens vakuumpumpar har en effektiv direkt vattenkylning. Temperaturfördelningen blir på så sätt jämn i hela pumphuset. Dessutom säkerställs den termiska stabiliteten under processen.
Med det helt öppna kommunikationsprotokollet (Modbus TCP-IP) kan alla funktioner styras. Detta omfattar tomgångslägen och drift med variabel hastighet. Kommunikationsprotokollet kan enkelt anpassas till ett specifikt nätverksprotokoll med hjälp av gränssnittskomponenter av standardtyp.
En direktmonterad kapslad motor ger COBRA BC-serien extra kompakta mått. På grund av den platsbesparande designen kan de enkelt och snabbt monteras i befintliga system i efterhand.
Alla COBRA BC-produkter
COBRA DS
- Avancerad skruvteknik
- Torr och beröringsfri driftsprincip
- Goda pulverhanteringsegenskaper
- Effektiv indirekt vattenkylning
- Kompakt, platsbesparande design
- Hög kapacitet för utblåsning av kväve
- Högeffektiv motor
- Olika storlekar med integrerad vakuumbooster
Fördelar med COBRA DS-serien
COBRA DS torrgående skruvvakuumpumpar är de perfekta vakuumgeneratorerna för krävande processer. Även vid omständigheter som kräver högt vätgasgenomströmning. De är därför perfekt lämpade för kemisk förångningsdeposition, snabb termisk bearbetning eller atomlagerdeposition.
De olika storlekarna i COBRA DS-serien har en integrerad vakuumbooster med hög prestanda. Denna kombination av förpump och vakuumbooster gör det möjligt att nå högre kapacitet och sluttryck.
Den patentskyddade självbalanserande skruvtekniken säkerställer enastående pulverhantering och hög tillgänglighet.
Skruvarna i COBRA DS vakuumpumpar är gjutna i ett stycke för att undvika mellanrum. På så sätt kan inte processvätskor eller partiklar tränga in. Därigenom förhindras korrosion och avlagringar.
COBRA DS-seriens vakuumpumpar har en effektiv, indirekt vattenkylning. Som ett resultat kan temperaturfördelningen i hela pumphuset regleras. De kan svara på processvariationer när som helst.
På grund av den platsbesparande designen kan COBRA DS enkelt och snabbt monteras i befintliga system i efterhand.