den perfekta lösningen för lätta till medelsvåra halvledartillämpningar
Hög kapacitet
Avancerad skruvteknik, klockformat hus, patentskyddade självbalanserande skruvar, perfekta driftkvaliteter, perfekt lämpad för uppgifter inom ”load lock” och transportkammare, metrologi, litografi, PVD-beläggning och snabb termisk glödgning
Effektiv
Intelligent drivenhet med variabel hastighet, låg ägandekostnad, minimalt underhåll, hög tillgänglighet, direkt vattenkylning
Kompakt
Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, integrerad kontrollpanel
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
Biogashantering
-
Uppgradering - tryckväxlingsadsorption
Produktion av halvledare
-
Lätt