gasreducering med våtskrubber för EPI-processer
Pålitlig
Särskilt konstruerad för krävande EPI-processer, kraftfull venturienhet, patenterad gasinloppsspärr, ingen uppsamling av biprodukter krävs före reduceringen (honungsfälla)
Minimalt underhåll
Längre serviceintervall, hög tillgänglighet, enkel service, snabb servicerutin, kräver ingen demontering
Effektiv
Beprövad våtskrubberteknologi, låga driftskostnader, inbyggt vattencirkulationssystem, enkel drift via PLC med pekskärm i färg