創造當今技術的大腦

作為地殼中第二豐富的元素，矽圍繞著我們。但在大自然中，迄今只發現它與其他元素的結合形式，例如砂礫、石英和其他岩石。對於微芯片而言，需要純晶體。這可以使用 Busch 真空泵浦在真空條件下形成。

現代社會高度依賴微芯片。它們是電子裝置背後的大腦，最常用於娛樂和汽車行業。但隨著我們進一步邁入智慧技術時代，微芯片將出現在最意想不到的地方——兒童玩具、洗衣機，甚至您的護照。

許多晶體組成一個晶體

每個微芯片的故事都始於多晶矽，這是由多顆小晶體組成的矽形式。對於電子產業來說，矽必須是超高純度的。這意味著通常介於 99.999% 與 99.999999999% 之間——每十億個矽原子不超過一個非矽原子。為了製造微芯片，必須將多晶矽轉化為一個單晶體，稱為單晶矽。這對微芯片製造至關重要：否則，多晶矽晶體結構的晶粒邊界和不規則性會影響微芯片成品的效能。生產單晶矽的方法有幾種，其中最常見的方法是直拉法，即在真空下生長矽晶體。

晶體來自晶種

單晶矽是使用被稱為拉晶機的設備制取的。這一名稱涵蓋了各種不同的技術，有兩個關鍵部分：真空爐以及將晶體拉成其形狀的機械裝置。在真空爐腔體內，多晶矽會加熱至 1410 °C 左右的極高溫度。將一小片單晶矽（稱為晶種）置於中心，並在迴轉時慢慢向上拉。晶種會使熔融矽隨其拉升，矽隨著其上升而固化。這會產生一根長的圓柱狀純矽棒。熔融矽具有高反應性，因此為了保持其高純度，不應與環境氣體接觸。因此，使用 Busch 真空泵浦，將空氣從腔體中排出。這樣就能產生無污染的生長環境和高質量的晶體，為其繼續通過 半導體製造廠 成為微芯片的漫長旅途做好準備。