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PANDA/PUMA

真空助力器

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PANDA/PUMA 真空助力器能夠提高真空泵浦的抽氣速率和極限壓力。它們可以將真空系統的性能提高十倍。

PANDA/PUMA 可以配合底泵浦使用,非常適合所有在特定工作壓力下需要高抽氣速率的應用。

Busch 真空助力器備有多種尺寸可供選擇。因此抽氣速率和極限壓力均可完全根據製程條件進行量身定制。

相較於 PUMA 真空助力器,PANDA 真空助力器標配有旁通閥。PUMA/PANDA 系列均可配備變速驅動

操作原理

在 PANDA/PUMA 真空助力器的外殼中,兩個葉片同步迴轉。由於葉片具有特殊輪廓且採用精密製程製造,它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。因此,製程腔體內無需添加任何潤滑液或工作液。

在葉片迴轉期間,葉片和殼體之間的氣體被傳輸到底泵浦中。

了解我們的 PANDA/PUMA 系列

  • panda_wv_1000_c
    PANDA WV

    針對工業應用的附旁通閥的效能優化器

    了解更多
  • puma_wy_0500_c
    PUMA WY

    適合中真空和高真空應用的密封式效能優化器

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  • panda_wz_2000_b_1
    PANDA WZ

    適合中真空和高真空應用的密封式效能優化器

    了解更多
  • puma_wp0500_d
    PUMA WP/WPA

    適合工業真空應用的效能優化器

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PANDA WV

panda_wv_1000_c
針對工業應用的附旁通閥的效能優化器

  • 出色的容積效率
  • 集成旁通閥
  • 乾式和非接觸式壓縮
  • 最少維護
  • 適用於所有類型的底泵浦

PANDA WV 系列之益處

PANDA WV 大大提升了所有類型的底泵浦在粗真空、中真空和高真空範圍內的性能。

它們標配有一個旁通閥。它能可靠地防止真空助力器超載或過熱,並允許其在高壓差工作條件下使用。

PANDA WV 真空助力器採用完全非接觸式運行方式,製程腔體內無需任何工作液。因此,維護工作也降至最少。此外,PANDA WV 真空助力器具有出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。

PANDA WV 可以直接透過法蘭連接到底泵浦或系統中的任何其它位置。它們還可以配備變速驅動。

所有 PANDA WV 產品

  • PANDA WV 0250/0500 C
    PANDA WV 0250/0500 C

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 250 m³/h max. 500 m³/h

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  • PANDA WV 1200–2400 A
    PANDA WV 1200–2400 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 1050 m³/h max. 2120 m³/h

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  • PANDA WV 4500 B
    PANDA WV 4500 B

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    4500 m³/h

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PUMA WY

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適合中真空和高真空應用的密封式效能優化器

  • 可以配備變速驅動
  • 乾式和非接觸式壓縮
  • 適用於所有類型的底泵浦
  • 最少維護
  • 出色的容積效率
  • 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
  • GGG40 外殼具有出色的機械耐受性和耐化學腐蝕性

PUMA WY 系列之益處

PUMA WY 大大提升了所有類型的底泵浦在中真空和高真空範圍內的性能。它專為滿足半導體製程而設計。

得益於直接法蘭安裝的水冷型馬達,PUMA WY 真空助力器實現了完全密封,不會在大氣中發生洩漏。它們是處理具有腐蝕性或毒性氣體的理想選擇。

PUMA WY 真空助力器採用完全非接觸式運行方式,製程腔體內無需任何工作液。因此,維護工作也降至最少。此外,PUMA WY 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。

PUMA WY 可透過壓力開關進行控制。達到最佳工作壓力時,壓力開關將會啟動真空助力器。此外,PUMA WY 還備有配備變速驅動的型號。

PUMA WY 的馬達和外殼之間沒有任何聯軸器,結構緊湊。它們可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。

所有 PUMA WY 產品

  • PUMA WY 0500–1250 C
    PUMA WY 0500–1250 C

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 500 m³/h max. 1250 m³/h

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  • PUMA WY 2000/4500 C
    PUMA WY 2000/4500 C

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 2010 m³/h max. 4500 m³/h

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PANDA WZ

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適合中真空和高真空應用的密封式效能優化器

  • 出色的容積效率
  • 集成旁通閥
  • 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
  • 乾式和非接觸式壓縮
  • 適用於所有類型的底泵浦
  • 最少維護

PANDA WZ 系列之益處

PANDA WZ 大大提升了所有類型的底泵浦在中真空和高真空範圍內的性能。它專為滿足半導體製程而設計。

得益於直接法蘭安裝的水冷型馬達,PANDA WZ 真空助力器實現了完全密封,不會在大氣中發生洩漏。它們是處理具有腐蝕性或毒性氣體的理想選擇。

PANDA WZ 的馬達和外殼之間沒有任何聯軸器,結構緊湊。它們可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。


PANDA WZ 真空助力器採用完全非接觸式運行方式,製程腔體內無需任何工作液。因此,維護工作也降至最少。此外,PANDA WZ 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。

PANDA 真空助力器標配一個旁通閥。它能可靠地防止真空助力器超載或過熱,並允許其在高壓差工作條件下使用。此外,PANDA WZ 還可以配備變速驅動

所有 PANDA WZ 產品

  • PANDA WZ 0250–2000 B
    PANDA WZ 0250–2000 B

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 263 m³/h max. 2120 m³/h

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  • PANDA WZ 2400 A
    PANDA WZ 2400 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    2120 m³/h

    了解更多
  • PANDA WZ 3600 A
    PANDA WZ 3600 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    3600 m³/h

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PUMA WP/WPA

puma_wp0500_d
適合工業真空應用的效能優化器

  • 可以配備變速驅動
  • 乾式和非接觸式壓縮
  • 適用於所有類型的底泵浦
  • 最少維護
  • 出色的容積效率
  • GGG40 外殼具有出色的機械耐受性和耐化學腐蝕性

PUMA WP/WPA 系列之益處

PUMA WP/WPA 大大提升了所有類型的底泵浦在粗真空和中真空範圍內的性能。

PUMA WP/WPA 可以透過壓力開關進行控制。達到最佳工作壓力時,壓力開關將會啟動真空助力器。此外,PUMA WP/WPA 還備有配備變速驅動的型號。

PUMA WP/WPA 真空助力器採用完全非接觸式運行方式,製程腔體內無需任何工作液。因此,維護工作也降至最少。此外,PUMA WP/WPA 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。

PUMA WP/WPA 可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。

所有 PUMA WP/WPA 產品

  • PUMA WP 0250/0500 D2/D4
    PUMA WP 0250/0500 D2/D4

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 260 m³/h max. 520 m³/h

    了解更多
  • PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4
    PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 700 m³/h max. 1000 m³/h

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  • PUMA WP 1250–4500 B2/D2
    PUMA WP 1250–4500 B2/D2

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 1295 m³/h max. 4500 m³/h

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  • PUMA WPA 040–075 A
    PUMA WPA 040–075 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 3850 m³/h max. 7350 m³/h

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  • PUMA WPA 080/095 A
    PUMA WPA 080/095 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:
    min. 8000 m³/h max. 9535 m³/h

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