PANDA/PUMA
真空助力器
PANDA/PUMA 真空助力器能夠提高真空泵浦的抽氣速率和極限壓力。它們可以將真空系統的性能提高十倍。
PANDA/PUMA 可以配合底泵浦使用，非常適合所有在特定工作壓力下需要高抽氣速率的應用。
Busch 真空助力器備有多種尺寸可供選擇。因此抽氣速率和極限壓力均可完全根據製程條件進行量身定制。
相較於 PUMA 真空助力器，PANDA 真空助力器標配有旁通閥。PUMA/PANDA 系列均可配備變速驅動。
操作原理
在 PANDA/PUMA 真空助力器的外殼中，兩個葉片同步迴轉。由於葉片具有特殊輪廓且採用精密製程製造，它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。因此，製程腔體內無需添加任何潤滑液或工作液。在葉片迴轉期間，葉片和殼體之間的氣體被傳輸到底泵浦中。
了解我們的 PANDA/PUMA 系列
PANDA WV
- 出色的容積效率
- 集成旁通閥
- 乾式和非接觸式壓縮
- 最少維護
- 適用於所有類型的底泵浦
PANDA WV 系列之益處
PANDA WV 大大提升了所有類型的底泵浦在粗真空、中真空和高真空範圍內的性能。
它們標配有一個旁通閥。它能可靠地防止真空助力器超載或過熱，並允許其在高壓差工作條件下使用。
PANDA WV 真空助力器採用完全非接觸式運行方式，製程腔體內無需任何工作液。因此，維護工作也降至最少。此外，PANDA WV 真空助力器具有出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。
PANDA WV 可以直接透過法蘭連接到底泵浦或系統中的任何其它位置。它們還可以配備變速驅動。
PUMA WY
- 可以配備變速驅動
- 乾式和非接觸式壓縮
- 適用於所有類型的底泵浦
- 最少維護
- 出色的容積效率
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- GGG40 外殼具有出色的機械耐受性和耐化學腐蝕性
PUMA WY 系列之益處
PUMA WY 大大提升了所有類型的底泵浦在中真空和高真空範圍內的性能。它專為滿足半導體製程而設計。
得益於直接法蘭安裝的水冷型馬達，PUMA WY 真空助力器實現了完全密封，不會在大氣中發生洩漏。它們是處理具有腐蝕性或毒性氣體的理想選擇。
PUMA WY 真空助力器採用完全非接觸式運行方式，製程腔體內無需任何工作液。因此，維護工作也降至最少。此外，PUMA WY 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。
PUMA WY 可透過壓力開關進行控制。達到最佳工作壓力時，壓力開關將會啟動真空助力器。此外，PUMA WY 還備有配備變速驅動的型號。
PUMA WY 的馬達和外殼之間沒有任何聯軸器，結構緊湊。它們可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。
PANDA WZ
- 出色的容積效率
- 集成旁通閥
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- 乾式和非接觸式壓縮
- 適用於所有類型的底泵浦
- 最少維護
PANDA WZ 系列之益處
PANDA WZ 大大提升了所有類型的底泵浦在中真空和高真空範圍內的性能。它專為滿足半導體製程而設計。
得益於直接法蘭安裝的水冷型馬達，PANDA WZ 真空助力器實現了完全密封，不會在大氣中發生洩漏。它們是處理具有腐蝕性或毒性氣體的理想選擇。
PANDA WZ 的馬達和外殼之間沒有任何聯軸器，結構緊湊。它們可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。
PANDA WZ 真空助力器採用完全非接觸式運行方式，製程腔體內無需任何工作液。因此，維護工作也降至最少。此外，PANDA WZ 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。
PANDA 真空助力器標配一個旁通閥。它能可靠地防止真空助力器超載或過熱，並允許其在高壓差工作條件下使用。此外，PANDA WZ 還可以配備變速驅動。
PUMA WP
- 可以配備變速驅動
- 乾式和非接觸式壓縮
- 適用於所有類型的底泵浦
- 最少維護
- 出色的容積效率
- GGG40 外殼具有出色的機械耐受性和耐化學腐蝕性
PUMA WP 系列之益處
PUMA WP 大大提升了所有類型的底泵浦在粗真空和中真空範圍內的性能。
PUMA WP 可以透過壓力開關進行控制。達到最佳工作壓力時，壓力開關將會啟動真空助力器。此外，PUMA WP 還備有配備變速驅動的型號。
PUMA WP 真空助力器採用完全非接觸式運行方式，製程腔體內無需任何工作液。因此，維護工作也降至最少。此外，PUMA WP 真空助力器還具備出色的容積效率和低耗能量等優勢。所有這些特點令其實現了低運作成本。
PUMA WP 可以直接透過法蘭安裝到底泵浦或系統中的任何其它位置。
