適合中真空和高真空應用的氣密性能優化器
可靠
特殊葉片設計，防止粉末和顆粒沉積，由 GGG40 材料製成，結構堅固，密封防漏
效能卓越
專為滿足中真空和高真空範圍內要求嚴苛的應用（包括防止粉塵沉積的半導體工藝）而設計，出色的容積效率
靈活
在不同的操作條件下提供可靠的性能，提升所有型號的底泵浦的性能
技術規範
市場和應用
平板顯示器生產
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
半導體生產
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嚴苛
太陽能發電行業
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)