真空半導體生產

與 Busch Group 一同找到最適合您的半導體服務解決方案

作為真空技術領域的全球領導者，Busch Group 集結兩大專業品牌：Busch 真空解決方案和 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。強強聯手，提供專為半導體產業量身打造的全方位真空解決方案與服務產品組合。

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 在高真空與超高真空領域以及洩漏偵測方面具備專業技術，尤其專注於半導體應用。憑藉其在半導體產業中的長期深耕與領先地位，Pfeiffer 能為您提供最佳的服務體驗。無論是真空泵浦產品整新，或是完整的 sub fab 管理，Pfeiffer 都能確保您的半導體製程安全無虞。

我們的半導體生產解決方案

Busch 的真空解決方案是所有半導體應用的值得信賴的選擇。智慧半導體設備通信的半導體工藝環境。包括從 load lock 腔體到最嚴苛的顆粒生成工藝。我們為全球一流的半導體晶圓廠提供真空系統， 並能夠提供一站式現場支援。