真空半導體生產

Busch 真空泵浦已在領先的半導體製造廠中運行，並以其可靠性而聞名。這要歸功於多年來我們始終關注半導體合作夥伴的需求及其製程要求。

讓我們引導您找到滿足您製程要求的理想解決方案。

半導體服務

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Busch 全新的真空泵浦產品整新服務，特別是對半導體和平板市場而言。
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Busch 的真空解決方案是所有半導體應用的值得信賴的選擇。智慧半導體設備通信的半導體工藝環境。包括從 load lock 腔體到最嚴苛的顆粒生成工藝。我們為全球一流的半導體晶圓廠提供真空系統，並能夠提供一站式現場支援。

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
輕型（load lock 和移轉腔體、計量、光刻）	✓	✓	✓	✓
中型（PVD 工藝、PVD 預清潔、RTA、剝離/灰化、氧化物刻蝕、矽刻蝕）	✓		✓	✓
苛刻（金屬刻蝕、植入源、HDP、CVD、RTP、外延、SA CVD、MO CVD、PE CVD、LP CVD、ALD）	✓		✓	✓