真空表
控制真空度可確保順暢的製程和最高的產品品質。
Busch VACTEST 是一種新型的真空量測設備。它採用將真空計量的最新發展與卓越製造品質融於一體的設計，提供一系列創新、全面的負壓錶和控制器產品。
帶給您的優勢概覽
先進
全面量測範圍（1600到5 · 10⁻¹⁰ mbar），前沿的微控制器技術
可靠
高工業標準，結構堅固，對震動通風不敏感
高效
模組化設計、隨插即用感應器實現盡可能長的正常運行時間
VACTEST 計量表非常可靠、耐用且使用方便。我們非常向同行業其他公司推薦 VACTEST。
Busch VACTEST 擁有三產品系列，可以滿足每個真空系統或製程的精度、量測範圍和功能要求。
憑藉多種最先進的技術可實現從 1600 到 5 · 10-10 mbar 的廣泛測量範圍，準確涵蓋所有真空度。
所有感應器均符合國際標準和法規，例如 CE 和 RoHS。對應於豐富多樣的真空泵浦、鼓風機和壓縮機產品組合，我們為每個製程提供恰當的量測技術。
憑藉多種最先進的技術可實現從 1600 到 5 · 10-10 mbar 的廣泛測量範圍，準確涵蓋所有真空度。
所有感應器均符合國際標準和法規，例如 CE 和 RoHS。對應於豐富多樣的真空泵浦、鼓風機和壓縮機產品組合，我們為每個製程提供恰當的量測技術。
移動式計量表
VACTEST移動式計量表是一款可實現優質服務或真空工藝流程品質保證的優質掌上型產品。這款電池驅動的測量儀具備多種功能，如用於匯出資料和視覺化的USB介面、資料記錄器，甚至可以在真空下使用。
數字式變送器
VACTEST 數位變送器是一款高端計量儀錶，帶有各種可選配置，符合各項標準要求。其智慧微控制器架構可實現極佳的感應器控制以及多種可選設置，從而為眾多應用提供理想的解決方案。
模擬變送器
VACTEST 類比變送器採精巧、堅固的實用性設計。憑藉優異的測量精准度和穩定性，這些發射器成為集中監測和控制系統的理想之選。
控制裝置
兩款有源感測器控制器 CTR 002 和 CTR 004 是精巧型控制裝置，用於與兩或四個真空表同時運作。
真空表類型
視製程中的真空度而定，需要不同的量測原理。真空度分為四個級別：
準確的壓力量測是真空輔助生產製程的關鍵因素。它能確保最佳效率和高產品品質。提供數種感應器技術，可準確量測所有 14 个真空級別。它們可以分為兩大類別：直接壓力量測和間接壓力量測。
直接壓力量測：
間接壓力量測：
- 粗真空
- 中真空
- 高真空
- 超高真空
準確的壓力量測是真空輔助生產製程的關鍵因素。它能確保最佳效率和高產品品質。提供數種感應器技術，可準確量測所有 14 个真空級別。它們可以分為兩大類別：直接壓力量測和間接壓力量測。
直接壓力量測：
間接壓力量測：
-
每個真空度的適當量測原理
-
每個真空度的適當量測原理
直接壓力量測
（不受氣體類型影響）
直接量測原理與製程氣體無關，而是基於分子流施加在膜片上的力。此方法主要用於粗真空和中真空製程。隨著壓力下降，氣體分子的數量變得太少，以至於無法被感應器正確偵測。
壓阻式感應器
堅固且具有成本效益的壓阻式感應器技術可量測由膜片偏移所導致的應變計阻力變化。其堅固性和多功能性使其成為粗真空範圍內絕對壓力量測的最佳選擇。- 量測範圍：1600 至 1 mbar
- 出色的量測精準度
- 耐化學性陶瓷感應器
- 短暫反應時間
- 高可靠性
- 長期穩定性
電容式感應器
高解析度且精確的電容式感應器可量測膜片偏移所導致的板式冷凝器電容變化。這些感應器是專門為需要高精確度和化學相容性的工業應用而設計。- 量測範圍：200 至 0.1 mbar
- 出色的量測精準度
- 耐化學性陶瓷感應器
- 高可靠性
- 溫度補償
- 工業金屬設計
- 高防護等級
間接壓力量測
（取決於氣體類型）
在更高的真空度下則使用間接量測原理，其以製程氣體之特殊屬性為基礎，例如熱導率或電離幾率。與直接量測方法相反，這些原理取決於製程氣體的性質，因此必須針對每種製程氣體應用與空氣或氮氣不同的特定修正係數。
Pirani 計量表
堅固可靠的 Pirani 技術可量測氣體的熱導率。加熱燈絲與周圍環境之間的熱傳遞會隨著壓力而改變。Pirani 感應器是中真空應用的最佳解決方案。- 1000 至 1·10-4 mbar 的廣泛量測範圍
- 可選配壓阻式感應器以提高量測高壓時的精確度
- 螺卷燈絲可提供更佳的精確度和耐用性
- 透過單獨的溫度補償提供卓越的穩定性
- 出色的抗污染性
- 適用於腐蝕性應用的選配 Pt/Rh 燈絲
冷陰極計量表
經濟實惠且堅固耐用的冷陰極（倒置磁控管）可量測電漿的電導率。中性氣體分子透過與電子碰撞而電離，並被陰極收集。產生的電流是高真空和超高真空製程中壓力的指示。- 結合 Pirani 感應器可實現擴展量測範圍：1000 至 5·10-9 mbar
- 低量測誤差：高真空 <25%
- 自動開關以延長感應器使用壽命
- 即使在高真空下也能快速點火
- 低雜散磁場
- 操作期間 Pirani 零壓力的自動調整
熱陰極計量表
根據 Bayard-Alpert 原理，穩定且可重現的熱陰極透過熱電子發射來量測氣體電離。離子收集器電流與氣體壓力呈線性關係。此技術是高真空和超高真空最精確的量測原理之一。- 結合 Pirani 感應器可實現擴展量測範圍：1000 至 5·10-10 mbar
- 出色的量測精準度：10 mbar 以下的誤差 <10%
- 雙燈絲設計延長使用壽命
- 自動開關以延長感應器使用壽命
- 操作期間 Pirani 零壓力的自動調整
- 經過 >100,000 次震動通風循環測試
校準服務
常見問題
什麼是真空表？
真空表是一種儀器，用於量測應用中的真空度。這可確保在整個製程中提供正確的真空度。監控真空度可確保您的製程順暢運行，並且確保您的產品具有最高品質。例如，食品包裝正確或不同材料層精確地層壓在一起。
這些設備具有結構堅固、可靠性及量測精準度高等突出特性，無論是應用於工業生產或科研，都是監測和控制您的真空工藝流程的理想之選。
如何選擇正確的真空量測設備？
在為您的製程選擇採用正確量測原理的真空表時，了解壓力範圍、所需精確度、氣體組成、製程和環境條件至關重要。
您的 Busch 本地代表可以幫助您選擇正確的計量表。
1. 壓力範圍和所需精確度
為了獲得泵浦所產生真空度的準確讀數，計量表必須能夠在與泵浦效能相對應的範圍內進行量測。否則，您可能會得到無法在製程真空範圍內進行量測的計量表。下表顯示了 VACTEST 涵蓋的壓力範圍。視壓力範圍而定，可能需要在一個儀器中結合不同的量測原理。量測原理 | 壓力範圍 | 精確度 |
|---|---|---|
壓阻式 | 1600 – 1 hPa (mbar) | < 全量程的 0.3% |
電容式 | 200 – 0.1 hPa (mbar) | < 全量程的 0.25% |
Pirani | 1000 – 1 · 10-4 hPa (mbar) | 1000 - 20 hPa (mbar)：讀數的 30% 20 – 2.0 · 10-3 hPa (mbar)：讀數的 10% |
冷陰極 | 2 · 10-3 – 5 · 10-9 hPa (mbar) | < 讀數的 25% |
熱陰極 | 3 · 10-3 – 5 · 10-10 hPa (mbar) | < 讀數的 10% |
2. 氣體組成
真空計具有可能與量測介質接觸的感應器。請考慮此接觸可能造成的反應。例如，介質是否具有腐蝕性、是否在特定溫度下固化，或是否會在感測元件中留下沉積物？3. 製程與環境條件
考慮您的計量表將處於的工作條件。溫度、濕度和灰塵都會影響精確度和使用壽命。真空表會告訴您什麼？
真空表量測製程中的真空度。
壓力計和真空表有什麼區別？
壓力計是一種量測系統與大氣壓力之間壓力差的儀器。因此，可將真空表視為一種壓力計。
但是，其他壓力計主要用於量測高於大氣壓力的壓力，而真空表則用於量測低於大氣壓力的壓力。
類比計量表的技術特點是什麼？
類比計量表有五大技術特點。
1. 高效能：標配出色功能。
- 擴展量測範圍 1200–5·10-10 mbar
- 出色的量測精準度和可靠性
- 數位微控制器智慧
- 標配兩個整合設定點
- 烘烤溫度高達 180°C，無需移除電子裝置
2. 堅固耐用：專為工業應用而開發。
- 堅固耐用的感測器，對震動通風和振動不敏感
- 金屬密封，實現超低洩漏率
- IP40 或可選 IP54
- 正壓限制高達 10 bar
3. 應用導向：最大靈活性。
- RS485 介面和 0–10 V 輸出信號
- 整合式且高度可見的顯示器（選配）
- 與競爭對手的計量表相容 - 可自訂輸出信號
- 無需控制器即可進行單個計量表電源供應
4. 完全控制：單獨配置。
- 憑藉外部控制器，量測值一目了然
- 可透過 PLC 或 PC 自訂計量表配置
- 透過藍牙模組無線進行連接
- 透過 VACTEST explorer 軟體進行配置和資料管理
5. 易於維護：隨插即用更換感應器。
- 您可以在現場交換
- 無需任何特殊工具
- 無需校正即可互換感應器
- 更換感應器自動獲取所有參數
數位計量表的技術特點是什麼？
數位計量表有三大技術特點。
1. 領先技術：精確的量測結果。
- 廣泛量測範圍 1400–1·10-4 mbar 涵蓋整個粗真空和中真空範圍
- 出色的量測精準度
- 透過單獨的溫度補償提供卓越的量測穩定性
2. 可靠性和安全性：符合工業要求。
- 堅固的不鏽鋼外殼
- 抗衝擊和振動
- 在複雜應用中十分可靠
- 金屬密封，實現超低洩漏率
3. 靈活範疇：完美適應每個製程。
- 非常精巧的工業設計
- 靈活的類比輸出信號（0-10 V 或 4-20 mA，視型號而定）
- 使用數位按鈕進行零點調整
- 與外部控制器相容
移動式計量表的技術特點是什麼？
移動式計量表具有四大技術特點。
1. 出色的精確度：長期量測。
- 廣泛量測範圍 1600–5·10-4 mbar
- 出色的量測精準度，高達全量程的 0.3%
- 電池壽命長達 2500 小時
2. 精巧便攜：獨特的手持式計量表系列。
- 非常精巧輕便的真空表，可作為手持裝置使用
- 採用耐用螺卷燈絲的可拆式外部 Pirani 感應器 (TTP 900)
- 在複雜應用中十分可靠
- 可在真空腔體內使用
3. 可選介面：資料記錄器與存儲器功能。
- 用於資料匯出和視覺化的USB介面
- 透過 USB 線上讀取至電腦
- 透過 VACTEST Explorer 軟體輕鬆匯出和管理資料
- 可用於多達 2000 次量測的資料記錄器
- 最小和最大存儲器功能
4. 以維護為導向：快速真空測試。
- 專為輕鬆維護檢查真空安裝而設計
- 透過壓力下降或上升方法的抽氣速率和洩漏率函數
應該多久校正一次計量表？
您的真空表應每年重新校正一次。
您的計量表是否需要重新校準？深入了解 Busch 校準服務，或立即聯絡我們的 Busch 服務專家！
什麼是有源感測器控制器？
藉助有源感測器控制器，您可以一覽所有量測值。兩個精巧的控制裝置可與兩個或四個真空感應器同時運作。它們可作為桌上型或機架安裝使用，具有帶背景照明的大尺寸 LCD 顯示器、多個繼電器觸點以及 USB 和 RS232 介面。透過直觀的導航，CTR 002 和 CTR 004 允許完全控制和配置感應器。可輕鬆調節氣體類型修正係數、壓力單元、設定點等參數與其他有益功能。
如何保護我的計量表？
為了延長計量表的使用壽命並保證量測精準度，保護計量表免受污染非常重要。因此，強烈建議在感應器和真空系統之間安裝保護裝置。Busch 提供隔汽層、金屬絲過濾器和螺管，以確保量測設備的安全運作。
能否更換感應器頭？
所有數位變速器皆提供備用感應器頭。隨插即用功能可維持校正與設定參數，確保在不影響製程的情況下快速更換感應器。
我的真空表可以用軟體控制嗎？
Busch 提供 VACTEST Explorer 作為不可或缺的軟體工具，幫助快速有效率地視覺化、分析和比較製程資料。VACTEST Explorer 提供 Lite 和 Pro 版本，具有諸多功能，例如計算洩漏率、遠端控制有源感測器控制器、比較泵回曲線、配置所有數位變速器參數等。