操作原理
真空助力器如何運作？
真空助力器提升真空泵浦的抽氣速率和極限壓力。它們可以將真空系統的性能提高十倍。
真空助力器基於久經驗證的魯式鼓風機原理運行：在真空助力器的外殼中，兩個葉片同步迴轉。它們不會相互接觸，也不與外殼接觸。因此，製程腔體內無需添加任何潤滑液或工作液。
在葉片迴轉期間，葉片和殼體之間的氣體被傳輸到底泵浦中。
兩個葉片由一對齒輪驅動，其位於齒輪箱軸端並與壓縮室分離。這樣確保轉子精準地同步運轉。
真空助力器搭配或不搭配機械式旁通閥運行。如無機械式旁通閥，則必須注意遵守運行期間進出口之間的最大允許壓差。對於附有旁通閥的真空助力器，部分泵送介質被轉移。因此，將自動限制進出口之間的壓差，保護助力器防止過載。
