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真空泵浦助力器

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操作原理

真空助力器如何運作?

真空助力器提升真空泵浦的抽氣速率和極限壓力。它們可以將真空系統的性能提高十倍。

真空助力器基於久經驗證的魯式鼓風機原理運行:在真空助力器的外殼中,兩個葉片同步迴轉。它們不會相互接觸,也不與外殼接觸。因此,製程腔體內無需添加任何潤滑液或工作液

在葉片迴轉期間,葉片和殼體之間的氣體被傳輸到底泵浦中。

兩個葉片由一對齒輪驅動,其位於齒輪箱軸端並與壓縮室分離。這樣確保轉子精準地同步運轉。

真空助力器搭配或不搭配機械式旁通閥運行。如無機械式旁通閥,則必須注意遵守運行期間進出口之間的最大允許壓差。對於附有旁通閥的真空助力器,部分泵送介質被轉移。因此,將自動限制進出口之間的壓差,保護助力器防止過載。

我們的真空助力器組合

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PANDA/PUMA 可以配合底泵浦使用,非常適合所有在特定工作壓力下需要高抽氣速率的應用。

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