擴散真空泵浦

擴散真空泵浦的基本組件是圓柱式真空泵浦機組，底部可加熱。油作為一種用於加熱的液體。油液蒸汽升至噴嘴系統中。然後經過數級蒸汽噴射處理，油液在高壓下被排出系統。

製程氣體分子被這些蒸汽射流收集，並繼續向底泵浦的出口輸送。油蒸氣在水冷真空泵浦機組的內表面凝結，並被導流回底部。