氣體減排系統

半導體產業使用有毒、易燃甚至對人類和環境有害的氣體。根據國家法規，這些氣體必須減排 - 降至相應臨界限值 (TLV) 以下。Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 是 Busch Group 的零件，提供先進的氣體減排技術，在使用點處理排氣。打造更潔淨的未來。