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氣體減排系統

我們的解決方案:GABA

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半導體工業使用的氣體不僅有毒、易燃,甚至對環境有害,對人類也有害, 例如:在生產微型晶片的過程中使用的氣體。根據國家法律,必須減少這類氣體的排放。這意味著,必須將它們降至各自的閾值極限值(TLV)以下。

不同的氣體需要不同的處理技術,如熱法,濕法,甚至兩種技術的結合。然後,工藝廢氣才能被排放到大氣中。不損害大自然。打造更環保的世界。

工作原理

無焰催化
此催化劑系統結合了無焰催化熱氧化和濕處理技術,可消減易燃、水溶性氣體和 NF₃。在熱氧化過程中可能產生的粉末和水溶性氣體將被上游多級濕化區收集。

熱濕
將電熱和濕法處理技術結合在一個系統中,以消減氫基氣體,如 NH₃、SiH₄ 以及 NF₃。在燃燒室中,通過熱氧化作用改變易燃和發火工藝氣體的化學性質。然後將水溶性氣體溶解在上游濕化室中。

洗滌塔
在四個獨立的反應室中,排氣氣流(特別是外延制程中產生的排氣氣流)被噴水。固體副產品被水滴捕獲並溶解。然後,洗滌塔將水從出口氣流中分離出來。

GABA AWE

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EPI 工藝中的洗滌塔氣體減排

  • 創新的洗滌塔技術
  • 適用於半導體行業不可或缺的 EPI 製程
  • 享有專利的進氣口防堵器
  • 延長維修間隔時間
  • 無需蜜阱收集副產品
  • 採用變頻控制的文丘裡裝置
  • 四個製程進氣口分別連接四個不同的腔體

GABA AWE 系列之益處

GABA AWE 是我們創新研發的洗滌塔,專為半導體行業不可或缺的 EPI 工藝而研發, 將出眾的運行安全性與超高水準的工藝穩定性相結合。

我們的 AWE 系列配備了享有專利的有毒氣體進氣口,可以防止洗滌塔進氣口發生堵塞, 從而延長了使用壽命,同時也降低了運營成本。維護工作僅限於定期更換進氣口防堵器。更換便捷,無需拆卸設備。

GABA AWE 採用了特殊設計,無需再從蜜阱廢棄物中分離生產過程中的副產品。洗滌塔可以處理所有的工藝殘留物,且不會堵塞進氣口。水溶性副產品在洗滌液中發生反應,固體顆粒被分離,或在運行過程中與廢水一起被抽走。

生產製程中所需的真空由一個變頻控制的文丘裡裝置提供和主動控制, 從而確保生產車間恒定的工藝壓力和無故障運行。所有製程設置都能通過一個帶有彩色顯示幕和觸控式螢幕的可程式設計邏輯控制器(PLC)進行操作。

所有 GABA AWE 產品

  • GABA AWE 050 AE
    GABA AWE 050 AE

    極限壓力:

    額定抽氣速率:

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GABA AFC

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高效的無焰催化氣體減排

  • 結合使用無焰催化熱氧化和熱濕法氣體減排技術
  • 能夠處理可燃和可溶性氣體
  • 出色的減排效率
  • 高溫電加熱器
  • 全交換系統
  • 四個製程進氣口分別連接四個不同的腔體

GABA AFC 系列之益處

GABA AFC 氣體減排系統專門設計用於減少或清除生產製程中的有害氣體和空氣污染物。一般而言,它們會改變氣體的化學成分。結合使用無焰催化熱氧化和熱濕法氣體減排技術,則能夠處理可燃和可溶氣體

GABA AFC 使用高溫加熱器及加熱後的催化劑。這樣,就可以在無焰情況下實現充分燃燒。為了提高目標氣體的去除效率,適當的溫度和正確的工作液是關鍵所在。熱系統提供穩定的處理條件,同時產生的副產品(即 NOx,CO2等)大幅減少。水溶性氣體、副產品以及來自反應室的熱氣在濕室中被處理。

為了避免在維護過程中發生污染,GABA AFC 被設計成全交換系統。所有模組都可單獨進行更換,無需打開腔體。

AFC 系列氣體減排系統標配四個製程氣體進氣口。因此,該系統可以連接到一個製程工具的四個不同腔體或多個工具,視具體應用而定。

所有 GABA AFC 產品

  • GABA AFC 050 A
    GABA AFC 050 A

    極限壓力:

    額定抽氣速率:

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GABA ATW

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安全的熱濕氣體減排

  • 結合使用無焰催化熱氧化和熱濕法氣體減排技術
  • 能夠處理可燃和可溶性氣體
  • 高溫電加熱器
  • 四個製程進氣口分別連接四個不同的腔體

GABA ATW 系列之益處

GABA ATW 氣體減排系統利用熱濕氣體減排技術工作。這意味著,它們會改變製程氣體的化學成分。對於易燃和易自燃氣體,透過無焰熱氧化進行處理;對於水溶性氣體,透過水溶解進行處理。

ATW 可以達到與燃燒器洗滌系統一樣高的溫度,使用電能,而非天然氣, 從而消除了生產過程中與氣體相關的所有風險。

我們的 GABA ATW 可以連接工廠的常規排氣系統。這些氣體減排系統配備 四個製程氣體進氣口。因此,該系統可以連接到一個製程工具的四個不同腔體或多個工具,視具體應用而定。

所有 GABA ATW 產品