EPI 工藝中的洗滌塔氣體減排
可靠
專為高要求EPI製程設計，強大的文丘裡單元，獲得專利的氣體入口防阻塞設備，減排前無需儲存副產品（蜜糖陷阱）
最少維護
延長服務間隔，長效運行，便於保養，保養流程快捷，無需拆除
高效
久經驗證的洗滌塔技術，低運作成本，內置式水循環系統，經由帶彩色觸控螢幕的 PLC 輕鬆操作
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