乾式螺旋式真空泵浦的類型
Busch 提供兩個系列的乾式螺旋式真空泵浦:COBRA Industry 乾式螺旋真空泵浦非常適用於需要可靠且無污染地抽取氣體和蒸汽的工業應用。
COBRA Semicon 乾式螺旋真空泵浦是光伏電池、平板顯示器、半導體生產等高要求製程以及眾多工業塗層應用的理想之選。
產品系列 | 額定抽氣速率 | 類型 |
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COBRA NX | 350 m³/h - 950 m³/h | 工業 |
COBRA NX PLUS | 900 m³/h | 工業 |
COBRA NC | 110 m³/h – 2,500 m³/h | 工業 |
COBRA NS | 70 m³/h - 600 m³/h | 工業 |
COBRA NF | 750 m³/h - 950 m³/h | 工業 |
COBRA DX | 650 m³/h - 950 m³/h | 工業 |
COBRA BA | 85 m³/h - 105 m³/h | Semicon |
COBRA BC | 100 m³/h – 1,580 m³/h | Semicon |
COBRA DS | 70 m³/h – 1,640 m³/h | Semicon |