RANGU
擴散真空泵浦
RANGU是擴散真空泵浦系列。它們專門為工業高真空應用而設計。其中包括玻璃鍍膜裝置、真空爐、金屬鍍膜、物理氣相沉積(PVD)、表面處理或薄膜鍍膜等應用。
RANGU擴散真空泵浦依據久經驗證的蒸汽原理進行工作， 而且即使在惡劣的條件下也具有出色的可靠性。
操作原理
RANGU擴散真空泵浦的基本組件是圓柱式真空泵浦機組，底部可加熱。油作為一種用於加熱的液體。油液蒸汽升至噴嘴系統中。然後經過數級蒸汽處理，油液在高壓下被排出系統。工藝氣體分子被這些蒸汽收集，並繼續向底泵浦的出口輸送。油蒸氣在水冷真空泵浦機組的內表面凝結，並被導流回底部。
RANGU DF
堅固可靠的高真空發生器
- 最高抽氣速率和氣體流速
- 運行可靠
- 使用壽命長
- 幾乎無需維護
RANGU DF系列之益處
RANGU DF擴散真空泵浦是高真空應用的理想解決方案。它們適用於需要高抽氣速率和氣體流速的製程。
這些真空泵浦具有穩定的高性能與可靠運行等特點。即使是在可能破壞其他真空泵浦的惡劣運行條件下。運行高效，幾乎無需維護。
RANGU擴散真空泵浦可以10-3 hPa (mbar)以上的入口壓力運行。為生成前級真空，我們建議使用R5迴轉葉片真空泵浦或COBRA螺旋式真空泵浦，各帶有真空助力器。
