RANGU
擴散真空泵浦
RANGU是擴散真空泵浦系列。它們專門為工業高真空應用而設計。其中包括玻璃鍍膜裝置、真空爐、金屬鍍膜、物理氣相沉積(PVD)、表面處理或薄膜鍍膜等應用。
RANGU擴散真空泵浦依據久經驗證的蒸汽原理進行工作， 而且即使在惡劣的條件下也具有出色的可靠性。
操作原理
RANGU擴散真空泵浦的基本組件是圓柱式真空泵浦機組，底部可加熱。油作為一種用於加熱的液體。油液蒸汽升至噴嘴系統中。然後經過數級蒸汽處理，油液在高壓下被排出系統。工藝氣體分子被這些蒸汽收集，並繼續向底泵浦的出口輸送。油蒸氣在水冷真空泵浦機組的內表面凝結，並被導流回底部。
RANGU DF
堅固可靠的高真空發生器
- 最高抽氣速率和氣體流速
- 運行可靠
- 使用壽命長
- 幾乎無需維護
