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RANGU

擴散真空泵浦

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RANGU是擴散真空泵浦系列。它們專門為工業高真空應用而設計。其中包括玻璃鍍膜裝置、真空爐、金屬鍍膜、物理氣相沉積(PVD)、表面處理或薄膜鍍膜等應用。

RANGU擴散真空泵浦依據久經驗證的蒸汽原理進行工作, 而且即使在惡劣的條件下也具有出色的可靠性。

操作原理

RANGU擴散真空泵浦的基本組件是圓柱式真空泵浦機組,底部可加熱。油作為一種用於加熱的液體。油液蒸汽升至噴嘴系統中。然後經過數級蒸汽處理,油液在高壓下被排出系統。

工藝氣體分子被這些蒸汽收集,並繼續向底泵浦的出口輸送。油蒸氣在水冷真空泵浦機組的內表面凝結,並被導流回底部。

RANGU DF

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堅固可靠的高真空發生器

  • 最高抽氣速率和氣體流速
  • 運行可靠
  • 使用壽命長
  • 幾乎無需維護

RANGU DF系列之益處

RANGU DF擴散真空泵浦是高真空應用的理想解決方案。它們適用於需要高抽氣速率和氣體流速的製程。

這些真空泵浦具有穩定的高性能與可靠運行等特點。即使是在可能破壞其他真空泵浦的惡劣運行條件下。運行高效,幾乎無需維護

RANGU擴散真空泵浦可以10-3 hPa (mbar)以上的入口壓力運行。為生成前級真空,我們建議使用R5迴轉葉片真空泵浦或COBRA螺旋式真空泵浦,各帶有真空助力器。

所有RANGU DF產品

  • RANGU DF 1000-2800 A
    RANGU DF 1000-2800 A

    極限壓力:
    < 7 · 10⁻⁸ hPa (mbar)
    額定抽氣速率:

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