全能型產品。

油潤滑回轉葉片式真空泵浦。

乾式運轉。

乾式運轉迴轉葉片式真空泵浦。

適用於嚴苛製程。

一次油潤滑迴轉葉片式真空幫浦。

實驗室泵浦。

兩段式油潤滑迴轉葉片式真空泵浦。

乾式爪式真空泵浦

全能型產品。

乾式螺旋式真空泵浦。

晶圓廠青睞產品。

適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。

水封式真空泵浦

多級魯式轉子真空泵浦。

渦捲式真空泵浦

真空助力器

擴散真空泵浦

全聯網迴轉葉片式真空泵浦

全聯網乾式螺旋式真空泵浦

乾式運轉迴轉葉片壓縮機

乾式爪式壓縮機

水封式壓縮機

魯式鼓風機

環型鼓風機

基於固定價格的配置，開箱即用。

專為您打造的客製化真空系統。

適用於多工藝或多機床的中央真空供給。

選擇合適的真空油對於真空製程的效率至關重要。

葉片對於迴轉葉片式真空泵浦中的真空產生至關重要。

油霧過濾器從排出的氣體中分離油霧。

Busch原廠服務套件是一種簡單且經濟高效的解決方案，可讓您自行對Busch產品進行常規維護和維修。

改裝套件可提高真空泵浦的效能與效率。

Busch 排油系統確保換油絕對安全、潔淨且加快 90%。

液體與粉塵分離桶在多級製程中組合了不同的分離機械裝置。

真空表可用於監控和操控您的真空製程。

檢漏儀可以精確定位和量化洩漏。

真空泵浦的狀態監控

監控分析
來自 VACTEST 儀表的量測資料

OTTO 數位服務將狀態監控與極具吸引力的服務組合相結合。

適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。

氣體減排系統用於減排有毒、易燃或有害氣體。

TORRI 魯式鼓風機用於抽空預真空鎖腔體。