真空和正壓產品組合
-
全能型產品。
油潤滑回轉葉片式真空泵浦。 -
乾式運轉。
乾式運轉迴轉葉片式真空泵浦。 -
適用於嚴苛製程。
一次油潤滑迴轉葉片式真空幫浦。 -
實驗室泵浦。
兩段式油潤滑迴轉葉片式真空泵浦。 -
乾式爪式真空泵浦
-
乾式爪式真空泵浦
-
全能型產品。
乾式螺旋式真空泵浦。 -
晶圓廠青睞產品。
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。 -
全能型產品。
乾式螺旋式真空泵浦。 -
晶圓廠青睞產品。
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。 -
水封式真空泵浦
-
水封式真空泵浦
-
多級魯式轉子真空泵浦。
-
多級魯式轉子真空泵浦。
-
渦捲式真空泵浦
-
渦捲式真空泵浦
-
真空助力器
-
真空助力器
-
擴散真空泵浦
-
擴散真空泵浦
-
全聯網迴轉葉片式真空泵浦
-
全聯網乾式螺旋式真空泵浦
-
全聯網迴轉葉片式真空泵浦
-
全聯網乾式螺旋式真空泵浦
-
全能型產品。
油潤滑回轉葉片式真空泵浦。 -
乾式運轉。
乾式運轉迴轉葉片式真空泵浦。 -
適用於嚴苛製程。
一次油潤滑迴轉葉片式真空幫浦。 -
實驗室泵浦。
兩段式油潤滑迴轉葉片式真空泵浦。 -
乾式爪式真空泵浦
-
乾式爪式真空泵浦
-
全能型產品。
乾式螺旋式真空泵浦。 -
晶圓廠青睞產品。
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。 -
全能型產品。
乾式螺旋式真空泵浦。 -
晶圓廠青睞產品。
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。 -
水封式真空泵浦
-
水封式真空泵浦
-
多級魯式轉子真空泵浦。
-
多級魯式轉子真空泵浦。
-
渦捲式真空泵浦
-
渦捲式真空泵浦
-
真空助力器
-
真空助力器
-
擴散真空泵浦
-
擴散真空泵浦
-
全聯網迴轉葉片式真空泵浦
-
全聯網乾式螺旋式真空泵浦
-
全聯網迴轉葉片式真空泵浦
-
全聯網乾式螺旋式真空泵浦
軟體
真空製程的數位化延續。實現最佳聯網和通訊。
-
真空泵浦的狀態監控
-
監控分析
來自 VACTEST 儀表的量測資料 -
OTTO 數位服務將狀態監控與極具吸引力的服務組合相結合。
-
真空泵浦的狀態監控
-
監控分析
來自 VACTEST 儀表的量測資料 -
OTTO 數位服務將狀態監控與極具吸引力的服務組合相結合。
軟體
真空製程的數位化延續。實現最佳聯網和通訊。
-
真空泵浦的狀態監控
-
監控分析
來自 VACTEST 儀表的量測資料 -
OTTO 數位服務將狀態監控與極具吸引力的服務組合相結合。
-
真空泵浦的狀態監控
-
監控分析
來自 VACTEST 儀表的量測資料 -
OTTO 數位服務將狀態監控與極具吸引力的服務組合相結合。
半導體產品
針對中高真空行業優化過的專用產品。
-
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。
-
氣體減排系統用於減排有毒、易燃或有害氣體。
-
TORRI 魯式鼓風機用於抽空預真空鎖腔體。
-
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。
-
氣體減排系統用於減排有毒、易燃或有害氣體。
-
TORRI 魯式鼓風機用於抽空預真空鎖腔體。
半導體產品
針對中高真空行業優化過的專用產品。
-
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。
-
氣體減排系統用於減排有毒、易燃或有害氣體。
-
TORRI 魯式鼓風機用於抽空預真空鎖腔體。
-
適用於半導體行業的乾式螺旋式真空泵浦。
-
氣體減排系統用於減排有毒、易燃或有害氣體。
-
TORRI 魯式鼓風機用於抽空預真空鎖腔體。